Многозонная нагревательная электропечь Советский патент 1961 года по МПК F27B9/02 C21D9/00 

Предлагаемая многозонная нагревательная печь непрерывного действия предназначена для термообработки изделий в кассетах.

Отличительная особенность печи состоит в том, что она представляет собой сочетание конвейерной и толкательной печей, соединенных перегрузочным тоннелем так, что кассеты с изделиями при переходе из одной камеры в другую поворачиваются на 90° Такое выполнение печи позволяет производить термическую обработку изделий по двум температурным режимам, резко отличающимся по времени выдержки.

Описываемая печь (см. чертеж) состоит из конвейерной 1 и толкательной 2 печей, соединенных перегрузочной камерой 3. Загружаемые кассеты 4 с изделиями имеют форму прямоугольника и устанавливаются на бесконечную ленту 5, непрерывно движущуюся внутри канала конвейерной печи /. В конце печи / кассеты сходят с конвейерной ленты 5 и по туннельному каналу 6 перемещаются в рабочее пространство толкательной печи 2, где занимают положение 7. Как только кассета займет положение 7, срабатывает блокирующее устройство 8 и толкатель 9 продвигает кассету вперед, освобождая место для очередной кассеты.

Описываемая печь непрерывного действия обеспечивает длительное пребывание изделий в толкательной печи при сравнительно небольшом времени выдержки в конвейерной печи. Отношение времени пребывания кассет в конвейерной и толкательной печах определяется отношением сторон (ширины и длины) кассеты и выбирается в зависимости от требований технологического процесса.

Печь предназначена для термической обработки деталей полупроводниковых приборов.Она может найти применение также и при проведении других технологических процессов, в которых требуется соблюдение ступенчатого температурного режима.

№ 138262- 2 Предмет изобретения

Многозоннаянагревательная электропечь непрерывного действия для термообработки изделий в кассетах, отличающаяся тем, что, с целью проведения нагрева в два этапа, нечь состоит из двух нагревательных камер - одной с конвейером и другой, снабженной толкателем, соединенных между собой перегрузочным туннелем так, что кассеты с изделиями нри переходе из одной камеры в другую поворачиваются на 901