Автоколлимационная установка для контроля асферических поверхностей Советский патент 1961 года по МПК G01B11/255 G01B9/04 

Известны (например, на авт. ев- № 121563 по кл. 42Ь, 23оз) автоколлимационные установки для контроля асферических поверхностей, в которых применяются поворотные зеркала.

Недостатком этих установок является невозможность обеспечения измерения профиля любых глубоких асферических поверхностей с большой точностью. Предложенная установка не имеет указанного недостат-. ка. Сущность изобретения заключается в том, что поворотное зеркало установки расположено на ее оптической оси.

На чертеже изображена схема установки.

Автоколлимационный микроскоп состоит из линз 1 к 2, призмы 5 и зеркала 4 с наружным покрытием. Они могут независимо друг от друга перемещаться вдоль оси вращения измеряемой поверхности 5. При этом их положения фиксируются по щкале. Зеркало, кроме того, может вращаться вокруг оси, расположенной перпендикулярно оси вращения поверхности 5.

Измерение профиля поверхностей производится следующим образом.

При перемещении микроскопа (при данном положении зеркала) поочередно наблюдаются автоколлимационные изображения от центров кривизны сагиттального и меридионального направлений и от измеряемой поверхности. Разности отсчетов положений микроскопа при наведениях на центры кривизны и измеряемую поверхность дают величины радиусов кривизны.

Расстояние от поверхности зеркала до верщины измеряемой поверхности, необходимое для установки расчетного положения зеркала, также определяется из отсчетов положений микроскопа при поочередных наведениях на поверхность зеркала и на верщину испытуемой поверхности.

№ 139082

Предмет изобретения

Автоколлимационная установка для контроля асферических поверхностей с нрименением поворотного зеркала, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения измерения величин радиусов с большей точностью, поворотное зеркало расположено ня оптической оси установки.

9