Способ нанесения металлических покрытий Советский патент 1992 года по МПК C23C14/00 

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для металлизации поверхностей твердых тел.

Цель изобретения является упрощение и сокращение времени проведения процесса нанесения металлических покрытий.

На фиг,1-3 приведены примеры конкретного выполнения способа с тепловым, световым и механическим механизмами инициирования реакции разложе- Аия рабочего вещества соответственно

Системна осаждения расположена внутри защитного колпака t, изготовленного, например, из оргстекла. На штативе 2 закреплена металлизируемая подложка 3. В непосредственной бли- зости от нее расположен источник 4 дозированной подачи азвда металла в качестве рабочего вещества. Нагреватель 5 расположен напротив подложки 3.

На фиг.1 нагреватель 5 выполнен резистивным, например, из нихрома. На фиг.2 нагреватель представляет собой источник света, поток которого сфокусирован в зоне разложения. рабочего вещества. На показан нагреватель 5, выполненньп в виде пластинки пьезозлектрика, подключен к источнику 6 ультразвука. Пластин-. ка пьезозлектрика осуществляет механическое инициирование реакции раз ложения рабочего вещества, легко разлагающегося под действием давления, трения, удара, например, азидов алюминия или золота.

Изобретение осуществляется следую щим образом.

Рабочее вещество в дисперсной форме поступает при атмосферном давлении в тепловую зону,созданную на- гревателем. 1 емпература зоны равна температуре шициирования взрыва рабочего вещества. Происходит его . взрывное разложение и осуществляется

быстрый массоперенос во взрывной . )9олне металла, содержащегося в разла гаемом веществе.

Металлическая компонента соединения азида металла (при условии

R /

где R - расстояние от нагреватадя до подложки; е/ - линейный размер подложки) осаждается на подложке в виде тонкого однородного слоя металла вследствие сферичесЬоЙ симметрии взрывного фронта, а газообразный азот выделяется в технологический объем.

Реакция разложения азщов протекает по следующей схеме:

Me NS - Ме4 +

3 .

где Me - элемент соответствующей

соли азида;

NJ - газообразный азот; Q - выделенная теплота разложения.

Для инициирования реакции разложения азвда используют электрическую искру, пробой лазером, контакт врще- ства с нагретым телом. При испол ь- зовании азкдов металлов инш иирова- ние осуиествляетс я почти мгновенно при 200-450 С. Действие инициаторов способствует протеканию реакции по цепному механизму. Скорость массопе- реноса при реакции 10 см/с, что позволяет .осуществлять металлизацию в атмосферных условиях, так как исключает окисление материала в про- . цессе его нанесения.

Формула изобретения

Способ нанесения металлических |д6 покрытий, заключающийся в осаждении металла путем дозированной подачи рабочего вещества в зону действия источника, осуществляющего фазовое превращение его, отличаю- щ и и с я тем, что, с целью упрощения и сокращения времени проведения способа, в качестве рабочего вещества используют азиды наносимого металла в дисперсной форме, а осаждение проводят при атмосферном давлении в режиме взрывного разложения рабочего вещества.

Изобретение относится (с технологии нанесения металлических покрытий. Целью изобретения является упрощение и сокращение времени нанесения металлических покрытий. Согласно изобретению осаждение металла проводят при атмосферном давлении путем дозированной подачи азидов наносимого металла в дисперсной в зону действия источника, осуществляющего их фазовое превращение в режиме взрывного разложения. 3 ил.

Фиг.1 . /

1

1

/ N

Ч /

Фиг 2