Устройство для получения монокристаллов и поликристаллов по способу Чохральского Советский патент 1961 года по МПК C30B15/30 

Существующие усгройства для получения монокристаллов и поликристаллов по способу Чохральского имеют очень серьезный недостаток - длительность процесса вытягивания составляет около /з от всего времени, затрачиваемого на нолный , а остальные операции (сборка, разборка, откачивание и т. д.) занимают /з времени.

Предлагаемое устройство для получения монокристаллов и поликристаллов по способу Чохральского отличается от известных тем, что оно снабжено двумя вращающимися кассетами, расположенными однч над другой, причем верхняя кассета предназначена для расположения пескольких затравочных кристаллов, а нижняя - для размещения такого же количества тиглей. Благодаря такой конструкции процесс получения кристаллов в этом устройстве ускорен за счет сокращения непроизводительной затрать времени на промежуточные операции.

Устройство, общий вид которого изображен на чертеже, представляет собой две вращающиеся кассеты, расположеиные одна над другой в герметичной рабочей камере /. Кожухи кассет соединены между собой цилиндрической камерой, в которой происходит плавка и вытягивание монокристалла или поликристалла. Верхняя кассета 2 предназначена для смены графитовых держателей 3 с затравкой 4. При повороте кассеты 2 на один щаг t, держатель, находящийся в кассете, подходит иод поднятый шток 5 затравки. Оператор включает медленное опускание этой затравки так, чтобы резьбовой конец штока затравки навернулся на держатель. При этом плоскости а ие дают проворачиваться держателю. В момент, когда шток затравки ввернулся в держатель, выключается опускание щтока затравки. Шток, вращаясь, остается на месте, а держатель, не имея возможности вращаться, поднимается до тех пор, пока щестигранник, держателя ие выйдет из соприкосновения с плоскостью а. После того как держатель навернется на шток затрав№ 139842

ки, происходит поворот верхней кассеты / на следующий uiar t; в этом положении имеется возможность затравить монокристалл или поликристалл.

По окончании процесса вытягивания затравкодержатель возвращается в верхнее положение, продолжая медленно вращаться. В этот момент кассета поворачивается на следующий щаг / п щестигранник затравкодержателя опять соприкасается с плоскостями б. Подъем щтока затравки прекращается и он выворачивается из резьбового гнезда затравкодержателя. Дальнейщий поворот на следующий шаг яв.чяется началом выщеописанног р цикла. Нпжняя кассета 6 предназначепа для смены тиглей 7. Шток 8 этого тигля подходит к загруженному тиглю 9, коническим концом надевается на него и поднимает тигель в рабочую камеру.

По окончании процесса щток тигля опускается, причем в нижне г положении он снимается с пустого тигля и выходит за его пределы. Кассета поворачивается па один щаг. и цикл повторяется.

Предмет изобретения

Устройство для получения монокристаллов и поликристаллов по способу Чохральского, выполненное в виде цилицдрического вакуумного объема (рабочая камера), в который введены два подвижных штока, отличающееся тем, что, с целью сокращения непроизводительной затраты времени на вытягивание кристалла, устройство снабжено двумя вращающимися кассетами, расположенными одна над другой, причем верхняя кассета предназначена для расположения нескольких затравочных кристаллов, а нижняя - для размещения такого же количества тиглей.

l

JJ