Известные многопозиционные карусельные машины для нанесения покрытий на изделия в вакууме обладают тем недостатком, что они работают с прерывистым вращением карусели. Технологический процесс покрытия в вакууме на этих машинах прерывается на рремя перехода к очередной позиции.
Автомат по описываемому изобретению лишен указанного недостатка и обеспечивает непрерывность технологического процесса покрытия изделий в вакууме. Отличительная особенность автомата заключается в том, что для автоматизации процесса металлизации изделий в вакууме ои снабжен общей распределительной вакуумной системой, смонтированной под вращающимся столом, и индивидуальными винтовыми приводами для подъема камер, установленными над столом.
На фиг. 1, 2 и 3 схематически изображен предлагаемый автомат, в трех проекциях; на фиг. 4 дан блок камеры, в разрезе.
Автомат состоит из карусели /, на которой установлен насос 2 предварительного разрежения, соединенный при по.мощи вакуумных магистралей с десятью вакуумными паромасляными насосами 5 и с десятью вакуумными камерами 4, каждая из которых оборудована насосом 3. В полости камеры 4 устанавливают блок 5, состоящий из корпуса о, механизма 7 вращения кассет, испарителя 5. кассет 9 с изделиями н электрических контактов W. Вращение карусели осуществляют при помощи привода 11, установленного на невращающейся части автомата и кинематически связанного с командоаппаратом 12.
Все технологические операции: подготовку вакуумных камер для проведения покрытий с очисткой изделий в поле тлеющего разряда, откачку вакуумных камер насосами предварительного и высокого разрежений, загрузку и выгрузку блоков с изделиями и испарителями проводят при непрерывном вращении карусели с вакуумными камерами по заданной программе. Подъем колпака вакуумной камеры, перезарядку блоков с испарителями и изделиями, опускание колпака вакуумной камеры также осуществляют при вращении карусели автомата. Для обеспечения контроля по вакууму автомат оборудован системой измерения глубокого разрежения в вакуумных камерах, работающей от дагчико), установленных на карусели и дающих импульс на контрольный прибор пультоуправления. Загрузку изделий в автомат и выгрузку их из него осуществляют в блоках, несущих на себе кроме кассеты с изделиями вспомогательные устройства: испаритель с испаряемым веществом, контакты для подводки электроэнергии и детали привода движения изделий вокруг испарителя.
Предмет изобретения
Автомат для нанесения покрытий в вакууме, выполненный в вид-; вертикальной круглой карусельной мащины, смонтированной на индивидуальной опоре, и снаблчснный форвакуумным и диффузионным пасосами, отличающийся тем, что, с целью автоматизации иропесса нанесения пленок в вакууме, автомат снабжен общей распределительной вакуумной системой, смонтированной под вращающимся столом, а также индивидуальными винтовыми приводами для подъема камер, монтированными над столом.
. 2
