Способ определения коэффициента распыления материалов Советский патент 1993 года по МПК C23C14/46 

со

00

Изобретение относится к ионной технике и материаловедению и можьч найти применение для определения коэффициентов распыления различных ма- териалов.

Целью изобретения является повьппе- ние точности и упрощение измерения коэффициента распыления материалов,

П р м м е-р. На стандартную уста- ирвку, включающую ионную пушку и масс-спектрометр, устанавливают исследуемый образец (поликристаллическая медная фольга) так, чтобы распы- ляклций пучок был направлен по нормали к поверхности. Сфокусирр- ванным пучком ионов ксенона с энергией 5 кэВ, током 9,1 -10 А, диаметром ионного пучка 0,83-10 см, с гауссовым распределением плотности тока создают кратер глубиной, равной диаметру, и одновременно с помощью масс- спектрометра регистрируют выход вторичных ионов меди. Определяют время, при котором достигается максимум вы- хода распыленных частиц, которое в данном примере оказалось равным 298с

В таблице приведены величины коэф- фициентов распыления 5, которые опре K-Rof делились из выражения о г-г--.

где

К 1,2 для гауссового распределения плотности тока в пучке; R - радиус полного пучка, см; j - атомная плотность материала, ат/см ; t - время достижения максимального выхода рас

п(лпенных частиц, с{ j - плотность потока ионов в центре пучка, ион«см « с, а также погрешности определения коэффициентов распыпення различных материалов предлагаемым способом и прототипом.

Как видно из приведенной таблицы, точность определения коэффициента распыпения предлагаемым способом в 4-5 раз выше, чем по способу-прототипу.

Формула изобретения

Способ определения коэффициента распыпения материалов, включающий травление поверхности материала ионным пучком и измерение времени достижения максимального вьсхода распыленных частиц материала, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения методики измерения, травление проводят ионным пучком с гауссовым распределением плотности тока по радиусу пучка, а коэффициент распыпения определяют из выражения

.ат/ион,

i

J

где К 1,2; R - радиус ионного пучка, см; j - атомная плотность материала, ат/см ; t - время достижения максимального выхода распыленных частиц материала, с; j - плотность потока ионов в центре пучка, ион/см -с.

Изобретение относится к ионной технике и материаловедению и служит для повьпиения точности и упрощения измерения коэффициента распыления материалов. Сфокусированным пучком ионов, например, ксенона с энергией 5 кэВ, током 9,, диаметром ионного пучка 0,83-Ю см, с гауссовым распрегделением плотности тока создают кратер глубиной, равной диа метру, и одновременно с помощью масс- спектрометра регистрируют выход вторичных ионов меди. При этом определяют время, в течение которого достигается максимум выхода распыленных .частиц. В описании приведено выражение для определения коэффициента распыления; 1 табл.

Предлагаемый способ