Электронный микроскоп Советский патент 1988 года по МПК H01J37/26 

(Л

С

О1

05

со

Изобретение относится к э;1ектронно- микроскопическому приборостроению и может быть использовано при производстве электронных микроскопов и других элек- тронно-зондовых устройств.

Целью изобретения является уменьшение времени установления температурного режима колонны при уменьшении ее габаритов за счет выведения стенок конденсации охлаждающей легкоиспаряюшейся жидкости, прог1итываюп|ей обмотки линз, и но.юсть охлаждения магнитопроводов линз внен1ней системы.

На чертеже показан э. 1ектронны1 | микроскоп, разрез.

В вертикальной ко. юнне 1 электронного микроскопа последовательно но ходу электронного луча расположены электронная пушка 2, копденсорный блок 3 магнитных лниз, объективная :1инза 4, блок 5 увеличиваюп1их линз и люмипесиенгпый экран 6, размешенный в тубусе 7. В зазоре между полюсными наконечниками об,- ективной линзы 4 расположен объс-кто- держате.;1ь 8. (л )мотки 9 всех ма| нитных линз размепк пы в i-ерметизированных об ьс- мах (), коюрые частично заполнены лег- коиспарякмце11ся жидкостью 11. В магнито- проводах .чинз выполнепы полости 12 ох- лажд|. ния, одной из стенок которых являются стенки 13 конденсации легкоис0

0

5

паряюшейся жидкости 11. Полости 12 охлаждения магнитопроводов соединены трубопроводами 14 с внешней системой охлаждения.

Электронный микроскоп работает следую- шим образом.

Электронный луч, созданный с помощью электронной пущки 2 и сформированный конденсорным блоком 3, попадает на исследуемый объект, размеп1енный в поле об 1 ективной линзы 4. Объективная линза формирует первичное электронно-оптическое изображение, которое увеличивается с по: мои1ью блока 5 увеличивающих линз и проектируется в тубусе 7 на люминесцентный экран 6.

Наличие внешней системы охлаждения ма1 нитопроводов линз и выведение в полость 12 (;хлаждения стенок конденсации легкоиспаряющейся жидкости 11 позволяют значительно увеличить интенсивность теплосъе- ма с обмоток 9 и магнитопроводов линз. 1ри этом время установления температурного режима колонны 1 микроскопа умень- П1ается более чем на порядок и составляет около двух минут. Этому же способствует возможность увеличения плотности гока в обмотках, а следовательно, снижение габаритов и массы системы линз в целом и уменьщение теплоемкости конструкции.