Способ изготовления прозрачных дифракционных решеток Советский патент 1961 года по МПК G02B5/18 

Известны способы изготовления прозрачных дифракционных реше ток для метрологических целей. Однако такие способы не позволяют получать решетки высокой точности.

В описываемом способе для получения решеток высокой точности на стеклянную пластинку наносят слой алюминия, а затем на нем нарезают штрихи и протравливают его.

Способ изготовления прозрачных дифракционных решеток состоит в том, что на стеклянную пластинку вакуумной конденсацией наносят слой алюминия, толщина которого приблизительно равна глубине штрчхов, нарезаемых затем на делительной .машине. При этом дно получившихся штрихов касается поверхности стеклянной пластинки.

После нарезания решетку подвергают травлению раствором, содержащим 0,5 г KMhO/. и на lOOc.vi, при температуре , в зависимости от толщины слоя алюминия. При травлении дно штриха постепенно расширяется, образуя прозрачную часть штриха, а его вершина остается непрозрачной. Для более однородного смачивания поверхность решетки предварительно обрабатывают слабым раствором соды, благодаря чему процесс травления проходит более равномерно. Прозрачные части штрихов получаются одинаковыми и сохраняется точность, достигнутая при нарезании решетки. Соотношение между прозрачной-и непрозрачной частями штрихов регулируют, изменяя продолжительность процесса травления....

Описываемый способ позволяет получать дифракционные решетки длиной до 160 мм, имеющие 200, 600 и 1200 штрихов на 1 мм, с отношением прозрачной части штриха к общей его ширине, равным от 0.4 до 0,8.

ж 141643- 2 Предмет изобретения

Способ изготовления прозрачных дифракционных решеток для метрологических целей, отличающийся тем, что с целью получения решеток высокой точности на стеклянную пластинку наносят слой алюминия, а затем па нем нарезают штрихи и протравливают.