Френелевский анализатор для контроля геометрических параметров изделий Советский патент 1988 года по МПК G01B11/24 G01B11/02 G02B27/42 

//

H3o6peTemie относится к измерительной технике и может использоваться для контроля геометрических параметров изделий и измерения взаимного расположения частей изделия с разной геометрией.

Цель изобретения - повьшение точности измерения геометрических параметров изделий - достигается за счет использования оптического увеличения дифракционной карти 1ы.

На чертеже показана функциональная схема анализатора,

Anajn-isaTop содержит когерентный ис точник 1 излучения и последовательно расположенные по ходу его излучения микрообъектив 2, точечную диафрагму 3 и сканирующее устройство 4, состоящее из щели 5, основания 6, второй щели 7, установленной на подв ижной каретке (не обозначена), имеющей возмойность перемеп1ения вдоль всей плоскости дифракционной картины и приводимой в дви жение приводом 8, микровинта 9, милли метровой шкалы 10, нониусной линии П, фотоумножителя (ФЭУ) 12, а также блок регистрации, выполненный в виде графопостроителя 13, электрически свя занного с выходом сканирующего устройства.

Оптический анализатор работает следующим образом,

Когерентньй источник 1 излучения формирует поток излучения, который при прохождении через микрообъектив 2 и точечную диафрагму 3 становится расходящимся. При помещении контролируемой детали 14 в этот расходящийся поток на неподвижной щели 5 образуется дифракционная картина исследуемой детали. Щель 5 вьщеляет участок дифракционной картины для сканирования. Установленная на основании б подвижная каретка со щелью 7 при помощи привода 8 и микровинта 9 производит сканирование вдоль плоскости дифракционной картины. Каретка снабжена миллиметровой пжалой 10, а микровинт 9 - нониусной головкой 11 для регистрации с погрешностью 1:0,005 мм. Полученное таким образом при помощи ФЭУ 12 распределение све0

5

Ю

5

5

0

5

0

/

0

тового поля регистрируется графопостроителем 13,

При обработке кривых, полученных при сканировании, положение осевой линии определяется как середина расстояния между левым и правым максимумами. Штангенциркулем измеряется расстояние 1, от одного краевого максимума до максимума в центре, затем 1, - от максимума в центре до другого краевого максимума. Сумма этих расстояний дает размер D увеличенного дифракционного изображения цилиндрической части детали в масштабе графопостроителя. Отклонение и центра контура сферы от осевой линии в масштабе графопостроителя определяе т- ся по формуле

Д 1(1,- 1)/2(,

Отклонение центра контура сферы от осевой линии в масштабе детали Д определяется по формуле

1,42 d-u . - - -J)

где d - диаметр детали, числовой коэффициент учитывает увеличение дифракционного изображения, взятого по краевым максимумам.

Формула изобретения

Френелевский анализатор для контроля геометрических параметров изделий, содержащий когерентный источник излучения и сканирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения геометрических параметров изделий, он снабжен последовательно расположенными между источником излучения и сканирующим устройством микрообъективом и точечной диафрагмой, а также блоком регистрации, выполненным в виде графопостроителя, электрически связанного с выходом сканирующего устройства, к оторое выполнено в В1аде каретки с приводом, электрически связанным с блоком регистрации, и двух щелевых диафрагм, расположенных взаимно перпендикулярно в плоскости, ортогональной оси излучения, при этом одна из щелей закреплена па каретке,

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля геометрических параметров изделий. Цель изобретения - повышение точности измерения геометрических параметров изделий - достигается за счет использования оптического увеличения дифракционной картины. Микрообъектив 2 и точечная диафрагма 3 формируют расширенный пучок, куда помещается контролируемая деталь 14. Дифракционная картина получается на неподвижной щели 5, Щель 5 выделяет участок картины для сканирования . Подвижная каретка со щелью 7 осуществляет сканирование вдоль дифракционной картины. На графопостроителе 13, на вход которого подается сигнал с ФЭУ 12, регистрируется рас- ; пределение светового поля. 1 ил. (Л