Способ нанесения покрытий карбида кремния Советский патент 1962 года по МПК C23C10/06 

Известны способы на«есения покрытий карбида кремния на поверхность металлических или графитовых изделий путем осаждения покрытий из газовой среды на нагретую поверхность изделий в атмосфере водорода или в вакууме.

Описываемый способ нанесения покрытий карбида кремния отличается от известных тем, что в качестве исходной газовой среды используют пары кремнеорганических соединений типа метилдихлорсилана или метилтрихлорсилана, у которых молекула содержит равное число атомов кремния и углерода.

Такой способ нанесения покрытий карбида кремния позволяет упростить технологию и повысить качество покрытия.

На чертеже изображена схема аппаратуры для осуществления предлагаемого способа нанесения покрытий карбида кремния.

Аппаратура, в которой производят нанесение слоев карбида кремния, состоит из блока 1 очистки водорода с приборами для измерения и поддержания постоянной скорости водорода, блока 2 подачи метилхлорсиланов в реакционную камеру с постоянной скоростью, реакционной камеры 3 и блока 4 электропитания.

Предлагаемый способ нанесения покрытий из карбида кремния заключается в разложении кремнеорганических соединений типа метилдихлорсилана или метилтрихлорсилана, у которых молекула содерх ит равное число атомов кремния и углерода, как и в карбиде кремния. При таком соотношении этих элементов в молекуле исходного соединения они имеют прямую химическую связь друг с другом. Термическое разложение этих соединений легко и быстро протекает на поверхностях, нагретых до сравнительно невысоких температур (1000-1500), причем в атмосфере водорода образуются плотные и однородные слои карбида кремния, не содержащие избыточных количеств кремния и углерода.

Водород из баллона 5 поступает в блок очистки, где очищается от кислорода, воды, следов углекислоты и других летучих и взвещенных в нем примесей.