Способ химико-термической обработки в тлеющем разряде Советский патент 1989 года по МПК C23C10/00 

1

Изобретение относится к химико- термической обработке металлов, а именно к обработке в тлеющем разряде постоянного тока.

Обработка в тлеющем разряде заключается в ионизации газовой среды, содержащей необходимые химические летучие соединения (хлориды, иодиды и другие соединения), в состав которых входит элемент, покрытие из которого требуется оформить на катоде-изделии.

Цель изобретения - повьппение электробезопасности процесса за счет снижения потенциала зажигания при сохранении износостойкости.

Суть способа состоит в том, что предлагается осуществлять зажигание разряда в легкоионизирующемся аргоне |При его давлении 8-20 Па, а затем при заженном разряде постепенно заменять среду аргона на необходимую , доводя давление последней до заданного (50-200 Па). При этом не возникает опасности переходу тлеющего разряда в дуговой (так как разряд уже горит),а Up (направление горения разряда), необходимое для поддержания разряда при таких давлениях, ниже, чем Uj (напряжение зажигания разряда).

Для уточнения конкретньк преимуществ предлагаемого способа приво4:Од 00 СО СО

31468949

ДИМ следующую таблицу, в которой представлены параметры осуществления способа КТО в тлеющем разряде по известному и предлагаемому способам на примере осаждения вольфрамовых покрытий из среды (расстояние между электродами 50 мм), в качестве рабочей среды используется хлорид вольфрама, покрытие наносится на,деталь HSJQ молибдена.

Таким образом, использование прелагаемого метода позволяет снизить потенциал зажигания (И) в 4,5-2,8 раза, а общее максимальное рабочее напряжение трансформатора снизить в 1,3-2 раза, т.е. с 1200-700 до 600- 550 В, Величина микротвердости покрытий в обоих вариантах составила 400±20 кг/мм при скорости роста 100 мкм/ч и давлении рабочей среды 133 Па.

s

0

Формула изобретения

Способ химико-термической обработки в тлеющем разряде постоянного тока, включающий предварительную откачку вакуумной камеры, заполнение ее хлоридной рабочей средой с заданным давлением, ионизацию среды подачей на электроды постоянного напряжения и осажде ние покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения энергобезопасности процесса за счет снижения потенциала зажигания при сохранении износостойкости, после откачки камеру заполняют аргоном с давлением 8-20 Па, на электроды подают потенциал, необходимый для ионизации аргона при данном давлении, выдерживают до достижения требуемой температуры и заменяют аргон на рабочую среду с последующим доведение м давления до заданного.

Изобретение относится к химикотермической обработке металлов и сплавов, а именно к обработке в тлеющем разряде. Целью изобретения является повьппение электробезопасности за счет снижения потенциала заяотгания йри сохранении износостойкости. Обработку в предложенном способе начинают в аргоне (имеющем наименьшие потенциалы зажигания) при его давле- НИИ 8-20 Па, после чего постепенно аргон удаляют из камеры осаждения и одновременно подают рабочую газовую среду, поддерживая давление в камере постоянным, после полного вывода аргона давление рабочей среды доводят до требуемого значения. Способ основан на том, что различные газы в соответствии с законом Пашена имеют различные потенциалы зажигания. 1 табл. СЛ