Раствор для травления сплавов Советский патент 1989 года по МПК C23F1/08 

1

Изобретение относится к химическому травлению металлов и сплавов, в частности сплавов на основе кобальта и никеля, и может быть использовано в производстве изделий электронной техники.

Целью изобретения является увеличение скорости травления и уменьшение растравливания рельефных элементов по контуру.

Предлагаемый раствор содержит, . мас.%:

Азотная кислота (d 1,38 г/см ) Хлорид меди Щавелевая кислота Соляная кислота (d 1,18 г/см ) Вода

40-55 2-4 3-5

15-25 Остальное

Изобретение может быть проиллюстрировано следующими примерами (табл. 1).

(Л

Хлорид меди Соляная кислота Хлорид аммония Окись меди Вода

Сочетание хлорида меди и соляной кислоты применялось ранее для травления алюминия и его сплавов. Состав, вес.%:

2-5 30-40 4-5 10-15 Остальное Количество соляной кислоты в предлагаемом и известном растворах раз-лично. В известном составе аморфный сплав не травится.

Сочетание азотной кислоты и щавелевой кислоты применялось для травле- ВИЯ сплавов серебра. Состав, вес.%: Азотная кислота Глицерин

Щавелевая кислота Диэтиленгликоль Вода

20-35 0,05-0,1

15-25 0,05-0,1

Остальное

Количество азотной и щавелевой кислоты отличается от предлагаемого. В указанном растворе травление аморфного сплава не происходит,

Сочетание азотной и соляной кислоты применялось для травления металлов преимущественно напыленной структуры ванадий - медь - никель. Количество азотной и соляной кислот от- личается от предлагаемого.

Введение в раствор щавелевой кислоты позволяет сократить время травления и тем самым получить более качественное изображение. В известных растворах для травления металлов (да- велевая кислота выполняет роль буфери рующей и ингибирукчцей добавки. В предлагаемом растворе она используется для интенсификации процесса травления преимущественно кобальтового сплава.

Хлорид меди способствует равномерному травлению, В данном растворе сочетание соляной кислоты с определенным количеством хлорида меди спо- собствует образованию иона (CuCl), оказывает смягчающее травящее действие на кобальтовый сплав 71КНСР,

Преимущества, предложенного трави- теля представлены в табл.2 (травлению подвергали сплав 71КНСР).

Из вышеизложенного можно заключить, что применение предлагаемого электролита позволяет улучшить свойства травления сплава, увеличить скорость травления, обеспечить точное воспроизведение изображения схемы и снизить трудоемкость за счет уменьшения времени травления.

Формула

изобретения

Раствор для травления сплавов на основе кобальта и никеля, содержащий смесь неорганических кислот, органическую кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости травления и уменьшения растравливания рельефных элементов по контуру, он дополнительно содержит хлорид меди , а в качестве неорганических кислот и органической кислоты - соответственно смесь азотной с соляной и щавелевую кислоту при следу ющем соотношении компонентов, мае.7,:

Азотная кислота

(,38 г/см)ДО-55

Соляная кислота

(,18 г/смЪ15-25

Щавелевая кислота3-5

Хлорид меди2-4

ВодаОстальное

Изобретение относится к химичес-г кому травлению металлов и сплавов, в частности никеля и кобальта. Целью изобретения является увеличение скорости травления и уменьшение растравливания рельефных элементов. Раствор для травления сплавов на основе кобальта и никеля содержит, мае.%: азотная кислота (d 1,38 г/см ) 40-55; хлорид меди 2-4; щавелевая кислота 3-5; соляная кислота (d 1,18 г/см) 15-25; вода остальное. Введение таких компонентов, как щавелевая кислота и хлорид меди повышает скорость травления и уменьшает растравливание рельефных элементов по контуру, 2 табл.

Азотная кислота Хлорид меди Щавелевая кислота Соляная кислота Вода

Характеристика полученных результатов

Таблица 1

Серная кислота

Щавелевая кислота

Уксусиая кислота

Хлорид меди

Трилон В

Фенилыочевина

Вода

Время травления, мин

Стойкость фоторезиста

при травлении

25 6

16 18

0,3 31 17

Не разрушается Частичное нарушение защитного слоя, преимущественно по контуру

Растравливание эле-

ментов по контуру,мкм На 2-3На 8-10

Т. а б л и ц а 2

16 18

0,3 31 17