Установка для тепловой обработки изделий Советский патент 1989 года по МПК F26B9/06 F26B3/30 

тера перпендикулярно его оси дополни- 40 рядов стальных тросиков, соединенных

тельно размещен газораспределитель 20, а над ней дополнительно установлены продольные трубопроводы 21, снабженные эжекторами. На обращенной в сторону транспортера поверхности газораспределителя 20 выполнены отверстия 22 перфорации. Обрабатываемы изделия 23 например, полупроводниковые микроплаты устанавливаются в кассетах 24 на загрузку. Приводной ролик связан цепной передачей 25 с приводом 26, управление которым осуществляется от блока 27 электроавтоматики. Каждый ролик 6-8 выполнен в виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводных 6 и натяжных 8 роликах меньшими основаниями, а в нажимных 7 роликах - большими основаниями, Сборные клеммежду собой сборными клеммовыми зажимами, и каждый ролик транспортера выполнен в виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводном и натяжных роликах меньшими основаниями, а в нажимных роликах - большими основаниями, при этом под рабочей ветвью транспортера перпендикулярно его оси дополнительно размеЩен перфорированный газораспределитель, а над ней дополнительно установлены продольные трубопроводы, снабженные эжекторами,

2. Установка по п. 1, о т л и чающаяся тем, что сборный клеммовый зажим выполнен в виде планок с канавками, соединенных посредством двух штифтов со сферическими головками, и винта.

3 14780074

3. Установка по пп, 1 и 2, от-клеммовые рлспо-юлопы в пыхличающаяся тем, что сборныематном порядке.

Изобретение может быть использовано при сушке плоских изделий, полупроводниковых микроплат в микроэлектронике для инфракрасной термообработки. Цель изобретения - повышение качества термообработки и уменьшение габаритов установки. Лента 9 транспортера выполнена в виде нескольких рядов стальных тросиков, соединенных между собой сборными клеммовыми зажимами. Каждый ролик транспортера выполнен в виде пары усеченных конусов, соединенных друг с другом в приводном и натяжных роликах меньшими основаниями, а в нажимных роликах - большими основаниями. Под рабочей ветвью транспортера перпендикулярно его оси размещен перфорированный газораспределитель 20, а над ветвью установлены продольные трубопроводы 21, снабженные эжекторами. Сборные клеммовые зажимы м.б. выполнены в виде планок с канавками и установлены в шахматном порядке. Охлажденный газообразный азот проходит через транспортер и охлаждает микроплаты и нагретый отбрасывается трубопроводом 21. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

/ Z3

.2

/1 ,и

/

Фаг.З

19

Ъ

Фиг.б

478007