Установка для химической обработки изделий Советский патент 1989 года по МПК C23G3/00 C25F7/00 

15

(Л

Сл

|С

Фаг.1

31504289

погружной обработки в непрерывном потоке жидкости. Загрузочный лоток 6 по направляющим 5 вводят в блок 4 химической обработки. Пневмоцилиндры поворачивают кронштейны и посредством тяг 9 поднимают плиту 8 и загрузочный лоток 6. Так как отверстия 32 в подъемной плите 8 и отверстия в днище загрузочного лотка 6 имеют раз- 10 ные расположения в горизонтальной плоскости, то отверстия загрузочного лотка 6 при подъеме шп1ты 8 перекрываются. Подают реагент из ванн 15 по трубопроводу 17 в блок форсунок 18, а затем в загрузочный лоток 6. Рабочий реагент заполняет загрузочный лоток 6 и переливом через верхний край попадает на днище блока 4 химической обработки и через распределительное устройство 14, сливной патрубок 16 возвращается в ванну 15. Конструктивные особенности позволяют снизить металлоемкость и габариты установки в 5-6 раз. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к оборудованию для химической обработки поверхностей изделий , в частности, в производстве полупроводниковых приборов и микросхем и может быть использовано для проведения подготовительных операций при обработке поверхностей корпусов приборов и сетчатых отрезков лент микросхем перед гальваническим покрытием. Цель изобретения - повышение эффективности обработки за счет совмещения процессов струйной и погружной обработки в непрерывном потоке жидкости. Загрузочный лоток 6 по направляющим 5 вводят в блок 4 химической обработки. Пневмоцилиндры поворачивают кронштейны и посредством тяг 9 поднимают плиту 8 и загрузочный лоток 6. Так как отверстия 32 в подъемной плите 8 и отверстия в днище загрузочного лотка 6 имеют разные расположения в горизонтальной плоскости, то отверстия загрузочного лотка 6 при подъеме плиты 8 перекрываются. Подают реагент из ванн 15 по трубопроводу 17 в блок форсунок 18, а затем в загрузочный лоток 6. Рабочий реагент заполняет загрузочный лоток 6 и переливом через верхний край попадает на днище блока 4 химической обработки и через распределительное устройство 14, сливной патрубок 16 возвращается в ванну 15. Конструктивные особенности позволяют снизить металлоемкость и габариты установки в 5 -6 раз. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к оборудоваию для химической обработки поверх- 20 остей изделий, в частности, в произодстве полупроводниковых приборов и икросхем и может быть использовано ля проведения подготовительных операций при обработке поверхностей кор- 25 пусов приборов и сетчатых отрезков ент микросхем перед гальваническим покрытием.

Цель изобретения - повьшение эффективности обработки погружной обра- 30 ботки в непрерывном потоке жидкости.

На фиг, изображена установка, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сбоку.

Установка состоит из корпуса 1, на котором смонтирован скафандр 2, а на скафандре 2 установлен блок 3 электропневмоавтоматики. Под скафандром 2 установлен блок 4 химической обработки, в котором на направляющих 40 5.установлен подложкодержатель, вы- полненнный в виде загрузочного лот- ка 6 с кассетой 7 для обрабатываемых изделий. Под загрузочным лотком 6 подвижно установлена подъемная пли- j та 8, которая жестко связана с вер- тикальными тягами 9, верхние концы которых гаарнирно соединены с поворотными рычагами 10, закрепленными с возможностью поворота на кронштей- л нах 11. Кронштейны 11 неподвижно закрепл1 :.ы на наружных поверхностях вертикальных стенок блока 4 химической обработки. Нижний конец каждого поворотного рычага 10 шарнирно сое- , динен со штоком пневматического цилиндра 12, Каждый пневматический цилиндр 12 посредством кронштейна 3 закреплен также на вертикальной стен::s блока 4 химической обработки. В нижней части корпуса 1 расположены распределительное устройство 14, ванны 15 с рабочими реагентами, сливные 16 и напорные 17 трубопроводы, последние соединяют каждую ванну 15 с блоком форсунок 18. Блок 4 химической обработки подвижно соединен сливным патрубком с распределительны устройством 1.

В цилиндрическое отверстие 19 корпуса 1 с возможностью поворота и вертикального перемещения установлен поворотный ротор 20, который имеет внутреннюю KOHycfio-цилиндрическую поверхность, причем цилиндрической поверхностью он подвижно соединен с патрубком 21 блока 4 химической обработки, а нижняя его конусная поверхность переходит в эксцентрично расположенный и выступающий за нижний торец патрубок 22, На верхнем торце поворотного ротора 20 неподвижно установлено зубчатое колесо 23, которое находится одновременно в зацеплении с двумя шестернями 24 редукторов 25. На шестерне 24 неподвижно установлены кронштейны 26 с опорными рамками 27, находящимися в контакте с торцовым кулачком 28 неподвижно закрепленным на верхнем торце корпуса 29. На боковых поверхностях корпуса 29 установлены конечные выключатели 30 с возможностью взаимодействия с кронштейном 31, который неподвижно закреплен на зубчатом колесе 23. Подъемная плита 8 выполнена с отверстиями 32, а загрузочный лоток 6 с отверстиями, которые не совпадают по расположению с отверстиями 32.

515

Установка работает следукшим образом.

Загрузочный лоток 6 выдвигают из блока 4 химической обработки и помещают в него кассету 7 с обрабатываемыми изделиями. Загругючный лоток 6, перемещая по направля 01дим 5, вводят в блок 4 химической обработки. На лицевой панели блока 3 электропнев- матики нажимают кнопку Пуск. При этом пневматические цилиндры 12 поворачивают кронштейяы 11 и посредством тяг 9 поднимают плиту 8 и загрузочный лоток 6, Так как отверстие 32 В подъемной плите 8 и отверстия в днище загрузочного лотка 6 имеют разные расположения в горизонтапьной плоскости то отверстия загрузочного лотка 9 при подъеме плить; 8 перекры- Баются, Одновременно со срабатыванием пневматического цилиндров 12 вуслюча- ется один И з электродвигателей привода насосов (не покг1чаи) подачи реагентов из ванп 15, рабочий реагент из ванны 15 по трубопроводу 17 посту- п.1ет в блок форсунок 18, а затем в загрузочный лоток 6. Так как ной плитой 8 перекрыты сливные отверстии в днище загрузочного лотка 6, то рабочий реагент заполняет загрузочный лоток 6 и переливом через край попадает на днище блока 4 химической обработки и чаре я распределительное устройство 14, сливной патру- бок 16 возвращается в ванну 15. В процессе обработки подачу реагента осуществляют непрерывно и в загрузочном лотке 6 поддерживают непрерывный поток жидкости, что обеспечивает рав- номерную обработку издепип любой формы с любым расположением изделий в кассете 7 и с любой плотностью установки изделий. После окончания процесса обработки первым реагентом пневматические цилиндры 12 поворачивают кронштейны 11 в исходные положения, тяги 9 опускаются и опускают подъемную плиту 8. Загрузочный лоток 6 опускают на направлякхцие, при этом одновременно отключают пасос подачи реагента. Раствор из загрузочного лотка 6 через отверстия., распределительное устройство 14 и сливной трубопровод 16 попадает в ванну 5. Та- КИМ образом заканчивается первый цикл обработки. После чего распределитель896

ное устройство 14 переключают на вторую ванну 15, включают пневматически цилиндры 12, подъемную плиту 8 поднимают в верхнее положение и начинаетс обработка новым реагентом. Цикл повторяется. При необходимости проме;ку- точной пpo fывки распределительное устройство 14 переключают после обработки каждым реагентом на слив и канализацию, и промывные воды подают через блок форсунок 18 от централизованной сети.

Установка позволяет производить химическую обработку изделий например отрезков лонт интегральных схем, в одной установке пос педовательно различными реагентами с пpo eжyтoч- ными и финишными промывками. При этом конструктивные особенности установки обеспечивают снижение метггл- лоемкости и габаритов установки в 5-6 раз.

Формула и 3 о б р е -j е н и я

I. Ус1аноБка для химической обрэ- ботки изделий, содержащая корпус с блоком химической обработки, подлож- кодер«ателем, устаноиленныг нз направляющих с возможностью горизонта; ь ного перемещегшя, распределительнь/ устройством, соединенным через ели - ИМИ трубопрозоды с ванна1- и для р бо- чих реагентов, и блоком форсунок, соединенным. через напорные трубопроводы с каждой ванной для рабочих ре- arei TOB, отличающаяся TRM, что, с целью повыщения эффективности обработки за счет совмещения процессов струйной и погружной обработки в непрерывном потоке жидкости, она снабжена плитой с отверстиями и механизмом ее вертикального перемещения, при этом подложкодержатель выполнен в виде загрузочного лотка с отверстиями в дне, не совпадающими с отверстиями в плите, причем плита установлена под загрузочным лотком,

2, Установка по п, I, о т л и - чающаяся тем, что механизм вертикального перемещения плиты выполнен в виде пневматических цилиндров, штоки которых кинематически связаны посредством поворотных рычагов и вертикальных тяг с плитой.

// 10 12 13 / / I

qjus.z