В настоящее время известны несколько различных способов зашиты р-п переходов полупроводниковых приборов. Наиболее распространенный из них - изоляция перехода от внешней среды защитными покрытиями на основе полимерных материалов (смолами, лаками, ко г;гундами и эмалями).
Предлагаемые пасты (вазелины) для защиты р-л переходов полупроводниковых приборов в герметичном корпусе хн.мически инертны, обладают хорошим сцеплением с поверхностью переходов, сохраняют высоковязкую консистенцию в широком диапазоне те.мператур (-65° - + 200°), кроме того, их высокие диэлектрические характеристики мало изменяются -с изменением температуры, пасты имеют также высокую идрофобность. Предлагаемые пасты позволяют избежать возникновения механических напряжений в защитном покрытии при различного рода .механических воздействиях, которым подвергают приборы (вибрация, толчки, ускорения и т, п.). Применение этих невысыхающих защитных паст позволяет исключить из технологических операций прои водства полупроводниковых приборов стадию термообработки, в связи с чем значительно расширяются возможности автоматизации производства полупроводниковых приборов.
Однако применение подобных защитных паст для р-п переходом воз.можно лишь в герметичном корпусе, так как загрязнение паст может отрицательно сказаться на параметрах приборов.
При изготовлении защитных паст в качестве связующего при.ме-Н5ПОТСЯ теплостойкие полиметилсилоксановые и полил1етил|фенилсилоксановые жидкости с вязкостью от 300 до 600 ест. В качестве наполнителя используются мелкодисперсные порошки окисей титана, кремния и алюминия, которые вводятся в зависимости от требуемой консистенции в количествах от 5 до 100% к весу жидкости. Смесь пяательно пе№ 150941- 2 ретирается и подвергается прогреву в вакууме для удаления летучих составляющих. Полученная вьшоковязкая вазелиноподобная паста ианссится непосредственно на р-п переход, пастой можно также заполнять корпус прибора.
Предлагаемые пасты могут применяться для защиты переходов как германиевых, так и кремниевых полупроводниковых приборов.
В качестве исходных компонентов для изготовления пасты КВ-2 применяются: полиметилсилоксанОВая жидкость ПМС-400 с вязкостью 432 ест (20°), белая сажа У-333, ВТУ-ЛУ-72-55.
Перед смещением белая сажа для удаления влаги прогревается в сушильном шкафу в течение 4 час при температуре 120°, полидиметилсилоксановая жидкость прогревается при температуре 180 в течение 3 час. Смешение компонентов производят в смесителе типа коллоидной мельницы или на вальцах. 450 г жидкости и 135 г белой сажи смешивают до получения однородной вазелиноподобной пасты, затем подвергают вакуумированию в вакуум-сушилке в течение 6 час при температуре 180° и остаточном давлении около 1 мм рт. ст.
Паста ВСК-1 состоит из полиметилфенилсилоксановой жидкости ПФМС-4 с вязкостью 400 ссг, взятой в количестве 200 г, и мелкодисперсного порошка TiOa ВТУ КУ № 450-55-105 г.
Компоненты подвергают предварительной обработке (Ti02 прокаливается при температуре +200 в течение 3 час, жидкость прогревается при температуре +180° также в течение.3 час). Дальнейшее получение пасты аналогично получению пасты КВ-2.
Предмет Изобретения
Паста типа вазелина для защиты поверхности р-п переходов, заключенных в герметичный корпус, отличающаяся тем, что, с целью получения надежного защитного нокрытия для р-п переходов, сохраняющего вязкую консистенцию в широком диапазоне температур (-65 -г +200°), ойо состоит из: полиметилсилоксановой жидкости ПМС-400 с вязкостью 432 ест (20°) - 450 г, белой сажи У-333, ВТУ-ЛУ72-55-135 г или из: полиметилфенилоилоксановой жидкости ПФМС-4 с вязкостью 400 ссг - 200 г, мелкодисперсного порошка ТЮа ВТУ КУ № 450-55-105 г.
