Аппарат для прерывания металлом гибких материалов методом катодного распыления Советский патент 1930 года по МПК C23C14/34 

В предлагаемом аппарате для покрывания металлом гибких Материалов методом катодного распыления, с целью получения слоя металла определенной толщины, применены валики, регулирующие скорость движения перематываемой Ленты из покрываемого металлом материала.

Один из валиков приводится во вращение при посредстве червячной передачи стержнем, пропущенным через ртутный затвор.

На схематическом чертеже фиг. 1 и 2 изображают прибор в двух вертикальных проекциях.

Для покрывания металлом любых гибких материалов, как то: бумаги, полотна, применен следующий способ покрывания металлом методом катодного распыления. К стеклянной пластине А притирается на мази колокол В; внутри колокола находится служащая катодом металлическая пластинка с из металла, которым предполагается покрывать требуемый материал. Все вводы к катоду должны быть остеклены.

Покрываемый материал в виде ленты некоторой щирины (щирина диктуется геометрическими размерами прибора) и произвольной длины, перематываясь во

время электрического разряда с валика а на валик 6, покрывается металлическим слоем во время прохождения под катодом. Оба валика укреплены на станине D; валик Ь, на оси которого сидит .зубчатка d, приводится в движение сцепленным с зубчаткой червяком о; этот последний приводится в движение стержнем е, проходящим через ртутный затвор, который позволяет вращать извне червяк и тем самым валик, наматывающий бумагу, не нарушая вакуума под колоколом.

Изменением скорости перематывания ленты можно вариировать на последней толщину металлического слоя. Анодом служит сама станина, к которой подается положительное напряжение} в рассматриваемом примере через стержень е и червяк о. Откачка колокола и наполнение его требуемым для распыления газом производится через трубку Е.

В числе материалов, покрываемых металлом методом катодного распыления, может быть взята, как указано выше, бумага; последняя, покрытая платиной, может быть употреблена в качестве электрических сопротивлений, применяемых в радиотехнике и в других областях электротехники.

Предмет патента,

Аппарат для покрывания металлом гибких материалов методом катодного распыления, характеризующийся применением двух валиков а и 6, предназначенных для перематывания ленты из покрываемого металлом материала, из коих валик b приводится во вращение при посредстве червячной передачи о, d стержнем е, проходящим через ртутный затвор и служащим одновременно для подведения положительного напряжения.

фнг.9

с iШИГ.2

fl