Изобретение относится к сплавам на основе алюминия, предназначенным для использования в микроэлектронике в качестве материала для изготовления ультранизкоомных тонкопленочных резисторов различных функциональных устройств.
Целью изобретения является расширение диапазона значений удельного поверхностного сопротивления и уменьшение температурного коэффициента сопротивления резисторов.
П р и м е р. Для опробования предлагаемого и известного алюминиевых сплавов изготовлены мишени (плоские диски ⊘ 125 мм и толщиной 5 мм), химический состав которых приведен в табл. 1.
Ультранизкоомные тонкопленочные резисторы из предлагаемого алюминиевого сплава изготавливаются по следующей технологической схеме.
На вакуумной установке УРМЗ.279.050, доработанной под магнетронное распыление, наносятся на ситалловые подложки резистивные пленки путем магнетронного распыления мишеней при следующих технологических режимах: Ток разряда, А 1,2-1,5 Давление аргона, мм рт.ст. 2 ˙10-3 Напряжение на мишени, В 600-700 Скорость конденсации, 
/c 40-50 Проводящие пленки с ρs =0,02 Ом/квадрат на основе двухслойной системы Cu-Ni наносятся в едином цикле с резистивными пленками. Конфигурация тонкопленочных резисторов создается методом фотолитографии. Удельное поверхностное сопротивление тонкопленочных резисторов измеряется на приборе ИУС-3, электросопротивление и ТКС- на прецизионном потенциометре Р-348. Временная стабильность тонкопленочных резисторов оценивается по относительному изменению их сопротивления за 1000 ч при 125оС.
Результаты испытаний ультранизкоомных тонкопленочных резисторов, изготовленных из предлагаемого алюминиевого сплава, приведены в табл. 2.
Таким образом, предлагаемый сплав имеет больший по сравнению с известным диапазон значений удельного поверхностного сопротивления и меньшее значение температурного коэффициента сопротивления.
Изобретение относится к сплавам на основе алюминия, предназначенным для использования в микроэлектронике в качестве материала для изготовления ультранизкоомных тонкопленочных резисторов различных функциональных устройств. Цель изобретения - расширение диапазона значений удельного поверхностного сопротивления и уменьшение температурного коэффициента сопротивления. Сплав на основе алюминия содержит компоненты, мас.%: марганец 10-12; никель 8,5-10,5; церий 0,25-0,3; германий 2,1-3,5; алюминий - остальное. Свойства сплава следующие: диапазон уд.поверх.сопрот. 0,1-10 Ом/квадрат; ТКС· 105 4-2 1/град. 2 табл.
СПЛАВ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНИЯ преимущественно для тонкопленочных резисторов, содержащий марганец, никель и церий, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона значений удельного поверхностного сопротивления и уменьшения температурного коэффициента сопротивления резисторов, он дополнительно содержит германий при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Марганец 10 - 12
Никель 8,5 - 10,5
Церий 0,25 - 0,3
Германий 2,1 - 3,5
Алюминий Остальное
| Авторское свидетельство СССР N 980454, кл | |||
| Машина для добывания торфа и т.п. | 1922 |
|
SU22A1 |
