СПОСОБ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО НАНЕСЕНИЯ ТИТАНОВЫХ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1996 года по МПК H01J7/18 

Изобретение относится к вакуумной технологии нанесения покрытий, а конкретно к технологии вакуумно-дугового нанесения газопоглотительных титановых покрытий.

Цель изобретения повышение сорбционных свойств покрытия.

На чертеже изображена схема расположения подложки 1, изогнутой относительно катода 2 испарителя.

Способ вакуумно-дугового нанесения газопоглотительных покрытий на детали состоит в том, что подложки располагают в диапазоне телесных углов α от 10 до 30^о относительно поверхности катода.

После традиционного процесса нанесения покрытия из титана на расположенную таким образом подложку последнюю разрезали на ряд участков одинаковой ширины с кратностью угла α в 5^о и для каждого участка определяли газопоглотительную способность покрытия статическим методом.

Максимум газопоглотительной способности покрытия находится в пределах угла α от 10 до 30^о, при этом однородность свойства покрытия в этом диапазоне практически одинакова. При этом распределение газопоглотительной способности покрытия до подложке симметрично относительно оси катода.

Способ был реализован на промышленной установке типа ВУ-1Б с вакуумно-дуговым испарителем и магнитной стабилизацией катодных пятен. На установке помимо стабилизирующей катушки имелаcь фокусирующая магнитная катушка. Экспериментальные данные получены при токе дугового разряда 100 А, напряжение смещения на подложке минус 100 В. Время напыления на обеих установках составляло 5 мин при одинаковом расстоянии от подложек до катода. Располагая подложку в диапазоне углов от 10 до 30^о получены покрытия из титана с максимальной газопоглотительной способностью 8,8 л.мкм/см² и одинаковой равномерностью по всей поверхности.

Изобретение относится к вакуумной технологии нанесения титановых покрытий. Цель изобретения - повышение сорбционных свойств покрытия. Для этого подложку 1 помещают в диапазоне телесных углов от 10 до 30^o относительно точки пересечения поверхности катода 2 и его продольной оси. 1 ил.

СПОСОБ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО НАНЕСЕНИЯ ТИТАНОВЫХ ПОКРЫТИЙ, включающий формирование потока газопоглощающего вещества и его осаждение на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения сорбционных свойств, подложку помещают в диапазоне телесных углом от 10 до 30^o относительно точки пересечения поверхности катода и его продольной оси.