Способ проявления диазотипной фотографической пленки Советский патент 1990 года по МПК G03C5/30 

Изобретение относится к бессеребряной фотографии, в частности к способам обработки диаэотипных фотографических материалов на прозрачных подложках, и может найти применение в технологии изготовления фотошаблонов.

Цель изобретения - улучшение условий труда при сохранении сенситометрических и метрических показателей пленки.

Опытным путем установлено, что без гидрохлорида 2-аминоэтанола проявление идет медленно и неравномерно, что не позволяет получить фотошаблон с требуемыми показателями. При недостатке гидроксида натрия или калия равномерность проявления также неудовлетворительна. Проявление ведут при темпер-атурах от комнатной до 70°С, при более высоких температурах светочувствительный слой начинает отставать от подложки.

Как показывают дальнейшие опыты по копированию фотошаблона, полученного на пленке Ф-1 в результате пред лагаемой обработки, на позитивный фоторезист водно-щелочного проявления, D на Лотошаблоне должно составлять

/А « КС

не менее 2, 4, a D - не более 0,15 (при измерении на денситометре ДП-1 за фильтром 437).

Концентрация гидрохлорида 2-амино- э анола подобрана из соображений как скорости процесса, так и работоспособности раствора (в 1 л раствора без корректировки можно проявить 5 м пленки).

:д j ел

Јь К1

Технический ацетобутират целлюлозы используемый в пленке Ф-1 в качестве пленкообразующего, выпускается по ТУ 6-05-1835-76, Он имеет плотность 1,17-1,25 г/см3, температуру плавления 165-210°С, содержит 17-48% бути- рильных групп, 29-36% ацетатных и 0,1-2,5% незамещенных гидроксильных групп и ангидроглюкозном остатке мак- ромолекулы.

Пример 1. Готовят растворы проявителя с минимальным, средним и максимальным содержанием ингредиентов, растворяя компоненты в любой последовательности в воде. В предварительном опыте определяют условия проявления пленки Ф-1 в 25%-ном водном аммиаке при комнатной температуре. Установлено, что Вмакс при измерении за фильтром 437 составляет 3,0. Далее определяют экспозицию при облучении на вакуумно-копировальной раме с УФ-источником света,необходимую для достижения D мии на экспонированных участках. В подобранных условиях экспонируют образцы, проявляемые затем в предлагаемом составе. Составы используемых растворов приведены в табл. 1.

После проявления при равномерном

покачивании ванны вручную образец промывают водопроводной водой 1-2 мин и высушивают на воздухе. Результаты измерений оптических плотностей представлены в табл. 2.

Из представленных результатов видно, что требуемые значения UMO(KC 2,4

и D

мин

Ј0,15 достигаются в предло

женном способе при 40 С за 4-5 мин. При понижении температуры проявителя время достижения UMO(KC -, 2,4 увеличивается. Так, при 25°С оно достигает 8-10 мин.

С фотошаблона, изготовленного на галогенсеребряной пленке и имеющего ширину штрихов и пробелов между ними 2 150 мкм, получены прямопозитивные копии на пленке Ф-1 путем экспонирования в подобранных условиях и прояв ления в проявителях 1-6 указанных составов в течение 4 мин при 40±1°С, а ,также после проявления в 25%-ном вод- ,ном аммиаке при той же температуре в течение того же времени. Проявленные изображения фотошаблонов промывают водопроводной водой 1 мин и высушивают на воздухе. На установке АРСМЗ

JQ

5 2025

30

35

40

45

50

258000 с использованием ламп ДРГТ-3000 проводят фотолитографию на заготовке печатных плат с нанесенной медной фольгой, покрытой слоем фоторезиста СПФ-ВЩ (ТУ 6-17-1086-82). После экспонирования и проявления фоторезиста полученный микрорельеф одинаков для образцов, полученных с фотошаблонами аммиачного и предложенного проявления. Последующие операции травления медного слоя в окнах фоторезиста подтвердили вывод о пригодности всех фотошаблонов, изготовленных предложенным способом.

В табл. 3 приведены результаты по линейной деформации пленки, обработанной предложенным способом. Измерения проводят на измерительной линейке LM (фирма Хитачи). Для проводника 300, 00 мм на фотооригинале после обработки в предлагаемом составе с максимальными концентрациями ингредиентов (гидрохлорид 2-аминоэтанола 120 г/л, гидроксид калия 100 г/л, вода до 1 л) при 60°С в течение 4 мин получены отклонения размеров от номинала.

Итак, отклонения метрических свойств пленки (линейных размеров) от номинала не превышают 0,020%, что удовлетворяет требованиям ТУ на фотошаблоны печатных плат.

На предприятии изготовлен комплект фотошаблонов для серийной многослойной печатной платы с использованием пленки Ф-1 и предложенного способа обработки. Комплект прошел контроль ОТК без замечании. Во всех случаях обработку проводят в обычных кюветах без использования вытяжных устройств, поскольку все компоненты проявителя не обладают запахом и нелетучи. В аналогичных условиях аммиачную обработку проводить было невозможно из-за раздражающего действия аммиака на глаза и дыхательные пути персонала.

Таким образом, предложенный способ позволяет не только улучшить условия труда, но и сохранить сенситометрические и метрические свойства пленки Ф-1.

Формула изобретения

Способ проявления диазотипной фотографической пленки, содержащей в светочувствительном слое в качестве пленкообразующего компонента ацетобутират целлюлозы, путем обработки пленки в проявляющем водном растворе, содержащем щелочной агент, отличающийся тем, что, с целью улучшения условий труда при сохранении сенситометрических и метрических пока зателей пленки, испопьзуют проявляющий раствор, содержащий в качестве щелочного агента гидроксид натрия или

калия и гидрохлорид 2-аминоэтанола при следующем соотношении компонентов в указанном растворе, г/л:

Гидрохлорид 2-амино- 5 этанола80-120

Гидроксчд натрия

или калия50-100

ВодаДо 1 л

Таблица 1

Изобретение касается фотографии, в частности проявления диазотипной фотопленки, и может быть использовано в изготовлении фотошаблонов. Цель изобретения - улучшение условий труда при сохранении сенситометрических и метрических показателей пленки. Проявление ведут обработкой пленки, содержащей в светочувствительном слое ацетобутират целлюлозы (пленкообразующий компонент), проявляющим раствором, содержащим г/л: гидрохлорид 2-аминоэтанола 80-120

гидроксид калия или натрия 50-100 и вода до 1 л. Эти условия исключают необходимость использования раздражающего аммиака и вытяжных устройств. 3 табл.

Ингредиент

Размер элемента, мм

Состав проявляющего раствора, г/л

ТаблицаЗ

Относительная деформация, %