Устройство для ультразвуковой обработки микропроволоки Советский патент 1990 года по МПК B08B3/12 

Фиг.1

Изобретение может быть применено в микроэлектронике- для обработки микропроволоки.

Целью изобретения является расши- рение функциональных возможностей устройства за счет обеспечения очистки микропроволоки в жидкой среде.

На фиг.1 приведено устройство при его работе для очистки микропроволоки с сохранением функции ее калибровки, общий вид; на фиг.2-4 - присадки расположения отверстий на коническом участке инструмента.

Устройство содержит ванну 1 для рабочей жидкости 2, в которую опуш,ен волновод 3 ультразвукового преобразователя 4. К волноводу 3 присоедине инструмент, выполненный в ви,е цилин дроконической трубки 5, -внутр енняя полость которой предназначена, для обработки микропроволоки 6, подаваемой с помощью роликов 7 . В Ве ННу 1

помещен лопастньш винт 8, который обеспечивает устранение загрязнений из области очистки. Трубка 5 снабжена рядом радиальных отверстий 9.

Устройство работает следующим образом.

Микропроволока 6 подается посредством роликов 7 в .полость цилинд- роконической трубки 5, находящейся в ванне 1с рабочей жидкостью 2;. Посредством ультр азвукового преобразователя 4 создаются ультразвуковые колебания, передающиеся через волновод 3 на трубку 5. Вследствие этого микрпроволока 6 вовлекается в колебательный процесс, что позволяет в .трубке 5 концентрировать каёитационные про- цессы, интенсифицирующие очистку, чт

5

Q

д

0

5

30

35

одновременно с колебаниями микропро- волоцси 6 относительно стенок трубки 5 обеспечивает проведение ее калибровки путем сглаживания выступов на поверхности микропроволоки 6. Наличие в трубке 5 радиальных отверстий 9 обеспечивает увеличение доступа рабочей жидкости 2 в зону очистки с помощью лопастного винта 8.

В трубке 5 цилиндрический участок чистовой обработки выбирают диаметром ,2-1,7 диаметра микропроволоки 6. Трубка 5 изготавливается из материала твердостью 88,5-91 HRA.

Выполнение -участка трубки 5 в виде конуса обеспечивает удобство в загрузке микропроволоки 6 в трубку 5.

Формула и 3 о б р е. т е и и я

1.Устройство для ультразвуковой обработки микропроволоки, включающее ультразвуковой преобразователь с волноводом и инструментом, выполенным

в виде цилиндроконической трубки с конической частью в виде конфуэора из материала твердостью 88-91 HRA, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства путем обеспечения очистки микропроволоки в жидкой, среде, конический участок инструмента имеет сквозные отверстия, смещенные относительно друг друга в диаметральной плоскости трубки.

2.Устройство по П.1, отличающееся тем, что отверстия смещены относительно друг друга по образующей трубки.

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике и направлено на расширение его функциональных возможностей за счет обеспечения очистки микропроволоки 6 в жидкой среде 2. Для этого в устройстве, включающем ультразвуковой преобразователь 4 с волноводом 3 и инструментом, выполненным в виде цилиндроконической трубки 5, в коническом участке инструмента выполняют сквозные отверстия, которые обеспечивают интенсивные жидкостные потоки внутри трубки как за счет акустических течений, так и за счет турбулизации жидкости, например, лопастным винтом 8. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.

Фие.З ЛНе MSffse oi

Фив.2 h не Ю1

ФтЛ