Способ приготовления тест-объекта в виде штриховой меры для градуировки увеличения электронных микроскопов Советский патент 1990 года по МПК G01N1/28 G01N23/225 

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в электрон ной микроскопии и может быть использовано для градуировки увеличения электронных микроскопов.

Целью изобретения является повышение качества и метрологических характеристик тест-обьекта за счет стабилизации периодической структуры и выравнивания геометрии профиля штрихов на реплике, снимаемой с поверхности дифракционной решетки.

На чертеже показана дифракционная решетка, поперечный разрез.

На перпендикуляре 2 к поверхности дифракционной решетки 1 расположен точечный источник испарения. Поперечная к зубьям длина дифракционной решетки 1 обозначена а, острый угол между перпендикуляром к поверхности решетки и меньшей гранью 3 зуба - tf . Перпендикуляр 2 восстановлен к краю решегки со стороны большей грани зуба.

-ч|

а

«

Сущность способа заключается в том, что перед напылением на поверхность дифракционной решетки слоя уг- лероца для образования реплики,предварительно напыляют слой вспомогательного растворимого в воде вешест- а от точечного источника испарения под углом, близким к углу tf . Это обеспечивается определенным расположением точечного источника, установленного на расстоянии от поверхности решетки, равном 1 а . ctg(.

При этом на меньшей грани зуба, на которую впослтедствии наносится оттеняющий слой, обуславливающий качество и периодичность структуры, происходит сглаживание рельефа и микронеровностей кромки зуба, вызванных механическими деформациями и повреждениями в процессе нар.еза- ния зуба на поверхности стекла.Одновременно нанесенный промежуточньм слой исключает искажение периодичности, связанное с механическими деформациями реплики в процессе ее отделения.

Пример. На очищенную дифракционную решетку из точечного источника испарения-напыляют слой хлористого натрия толщиной до 10 нм. При этом испаритель размещается на перпендикуляре к краю релпетки со стороны большей грани зуба (грани,противоположной той, на которую наносится оттеняющий слой),

После этого- на сформированный подслой напкпяют слой углерода толщи- .ной 15 нм, на которую под углом 5 к плоскости рещетки со ст.ороны меньшей грани напыляют слой триокиси вольфрама толш;иной 30-40 нм. Диф- ракционную решетку с нанесёнными слоями медленно опускают под углом 30 в сосуд с дистиллированной водо до полного отслоения реплики в результате растворения вспомогательного вещества. Полученную реплику вылавливают на электролитическую сетку, высушивают в наклонном состонии и затем вырезают специальным пробойником тест-объект требуемой конфигурации. Полученньш тест-объект устанавливают в держатель образца электронного микроскопа и, выводя последний на рабочий режим, получают сфокусированное изображение штрихов полученной реплики.

Q Получаемые тест-объекты имеют достаточно ровные кромки штрихов и хорошо воспроизводят метрологические характеристики дифракционной решетки. При этом значительно упрощается

5 отделение реплики от поверхности решетки и сокращается время на ее при- готовление.

Фор.мула изобретенИ|Я

0

Способ приготовления тест-объекта в виде штриховой меры для градуировки увеличения электронных микроскопов, включающий подготовку поверхнос5 ти стеклянной дифракционной решетки, с несимметричн1г1м треугольным профилем зуба, напщ1ение на поверхность дифракционной решетки слбя углерода и последующее отделение реплики, о тQ личающийся тем, что, с целью повышения качества и метрологических характеристик тест-объекта за счет стабилизации периодической структуры и выравнивания геометрии

, профиля штрихов на реплике, подготовку поверхности дифракционной решетки осуществляют путем напыления на нее слоя вспомогательного растворимого в воде вещества от точечного источjQ ника испарения, расположенного на

перпендикуляре к краю решетки со стороны большей грани зуба на расстоянии .1 от плоскости решетки, равном

451 а . ctgq

где а - поперечная к зубьям длина

дифракционной решетки; If - острый угол между перпендикуляром к поверхности ре- 50 шетки и меньшей гранью зуба.

NaCt

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в виде штриховой меры с дифракционных решеток (ДР) и может быть использовано для градуировки увеличения электронных микроскопов. Целью изобретения является повышение качества и метрологических характеристик тест-объекта за счет стабилизации периодической структуры и выравнивания геометрии профиля штрихов на реплике, снимаемой с поверхности ДР. Перед напылением на поверхность ДР слоя углерода для образования реплики предварительно напыляют слой вспомогательного растворимого в воде вещества от точечного источника под углом, близким к углу φ между перпендикуляром к поверхности ДР и меньшей гранью зуба. Это обеспечивается расположением точечного источника на перпендикуляре к краю ДР со стороны большей грани зуба на расстоянии от плоскости ДР, равном ATGφ, где A - поперечная к зубьям длина ДР. Напыление вспомогательного вещества под определенным углом позволяет сгладить микронеровности кромки зуба, а его растворимость в воде облегчает отделение реплики и стабильность ее геометрических размеров. 1 ил.