Способ приготовления тест-объекта для растрового электронного микроскопа Советский патент 1991 года по МПК G01N1/28 G01N23/225 

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов для электронной микроскопии.

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей тест-объекта а счет создания на его поверхности регулярно расположенных шароообразпых частиц,

На чертеже показана схема образования тест-объекта.

На чертеже показаны дифракционная решетка 1, вспомогательный слой 2, слой 3 оттеняющего металла, углеродная пленка 4, островковая пленка 5 золота.

Сущность способа заключается в следующем.

Изготавливают дифракционную решетку с несимметричным треугольным профилем зуба, На малые грани зубьев напыляют слой оттенявдйего тугоплавкого металла. Затем на поверхность решетки напыляют углеродную пленку, на часть которой, покрывающую малые грани зубьев, осаждают островковую пленку золота, Далее отделяют реплику от поверхности решетки и осуществляют t ее нагрев до температуры плавления зелота с последующим охлаждением со скоростью не менее 100Г°С/мин.

В результате на оттененных участках реплики в виде штрихов формируются шарообразные частицы золота. Температура нагрева для плавления пленки золота составляет порядка 2/3 табличного -значения температуры плавления (золота как вещества. Ограничение на (скорость охлаждения обусловлено тем,

0

00 00

СП От

что при медленном охлаждении затвердевающие частицы золота приобретают рп з- нообразнур) огранку, но позволяющую использовать их в качестве элемента тест-объекта

При м е р. Па полерхность дисЬрак- цИонной решетки предварительно напыляли пленку хлористого натрия толщиной до 10 им. Затем на малую грань зуба решетки напыляли слой хрома толщиной 15 нм и ЩЈпее на лею поверхность решетки напйляли углероднёю пленку толщиной . На участки поверхности этой пленки, покрывающей малые грани зубьев, осаждали острояковую плеяку золота толщиной 10... 12 нм. Попучен-- ную реплику отделяли г дистиплировач- ной воде. Процесс отделения облегчался за счет предварительно напыленного слоя хлористого натрия, лсткораство- ригмого в поде. ВЫЛОБЛСРную на предмет - ную сетку реплику помещали в вакуумную печь и нагревали до температуры 850 С, после чего охлаждали со ско- ростью 1000°С/мин,

Получаемый тест-объект может быть использован не только дли растровых, но и для просвечивающих электронных микроскопов. Получение регулярно рас- положенных шариков золота позволяет контролировать правильность построения изображения в направлении строки

и кадра, исключает необходимость корректировки масштабных искажений изображения при наклонах образца и одновременно облагает высоким контрастом из-за различных эмиссионных свойств выбираемых материалов0

I

Формула изобретения

Способ приготовления тест-объекта для растрового электронного микроскопа, включающий изготовление ди ракци- онной решетки, напыление на ее поверхность углеродной пленки и отделение реплики, отличающийся тем что, с целью расширения Функциональных возможностей тест-объекта за счет создания на его погсрхности регулярно расположенных шарообразных частиц, дифракционную решетку изготавливают с несимметричным треугольным профилем зуба, при этом перед напылением углеродной пленки на малые грани зубьев напыляют слой оттенягощего тугоплавкого металла, после напыления углеродно пленки на часть ее поверхности, покрывающей малые грани зубьев, осаждают островковую пленку золота, а после отделения ретики осуществляют ее нагрев до температуры плавления золота и последующее охлаждение со скоростью не менее 1000 С/мин,

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов (ТО) для электронной микроскопии. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей ТО за счет создания на его поверхности регулярно расположенных шарообразных частиц. Изготавливают дифракционную решетку с несимметричным треугольным профилем зуба. На малые грани зубьев напыляют слой оттеняющего тугоплавкого металла. Далее напыляют углеродную пленку, на часть которой, покрывающую малые грани зубьев5 осаждают огтровковую пленку золота. Отделенную реплику нагревают до температуры плавпения золота с последующим охлаждением со скоростью не менее ЮОО°С/мин. 1 ил.