Манипулятор, работающий в герметизированном объеме Советский патент 1990 года по МПК B25J21/00 B25J11/00 

Изобретение относится машиностроению, в частности к манипуляторам, работающим в герметизированном объеме, и может быть использовано в технологических процессах изготовления электронных приборов и.т.п.

Цель изобретения - повышение точности позиционирования за счет увеличения жесткости конструкции и демпфирующей способности,

На фиг, 1 изображен манипулятор, общий вид; на фиг.2 - упругий шарнир; на фиг,3 - вид В на фиг,1; на фиг,4 - сечение А-А на фиг,2; на фиг,5 - сечение Б-Б на фиг,2.

Манипулятор содержит крышку 1 вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы ввода поступательно- качательного2 и вращательного 3 движений предметного столика 4 исполнительного органа, включающего три шарнирных многократных параллелограмма 5, винтовой толкатель б, универсальный шарнир 7 и платформу 8. Платформа 8 выполнена в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком 4 и связано посредством дополнительных упругих 9 и универ- 7 шарниров с центральным шарнирным многократным параллелограммом 5, а наружное кольцо кинематически связано с остальными диаметрально расположенными шарнирными многократными параллелограммами 5, которые связаны с винтовыми механизмами ввода поступа- тельно-качательного движения 2, При этом центральное и диаметрально расположенные шарнирные многократные параллелограммы 5 расположены в перпендикулярных плоскостях.

Предметный столик 4 снабжен осевым выступом, пропуш,емнымчере,з платформу 8 и выполненным с глухим отверстием 10. По цилиндрической поверхности отверстия 10 пропущена винтовая канавка, в которую введен ви,нтовой выступ 11 на винтовом толкателе 6. Винтовой толкатель 6 соединен с универсальным шарниром 7 с центральным шарнирным многократным параллелограммом 5. Звенья 12 всех шарнирных многократных параллелограммов 5 и звенья 13 универсального шарнира 7 соединены между собой упругими шарнирами 9. Каждый из

упругих шарниров 9 содержит два торцовых элемента 14, имеющих Г-образное сечение, и промежуточный элемент 15. Торцовые элементы 14 каждого упругого шарнира 9 5 связаны с промежуточным элементом 15 двумя парами пружин 16. Пружину 16 каждой пары взаимно перпендикулярны.

Все устройство смонтировано на фланце стенки вакуумной камеры.

0 Манипулятор работает следующим образом.

При поступательно-качательном движении предметный столик 4 получает поступательное (вертикальное) или качательное

5 перемещение от винтовых механизмов ввода поступательно-качательного движения 2, через диаметрально расположенные шарнирные многократные параллелограммы 5. При поступательном движении рукоятки

0 обоих механизмов ввода 2 вращают одновременно с одинаковой скоростью. При необходимости наклона предметного столика 4 вращают одну из рукояток механизмов ввода 2.

5Для осуществления вращательного движения предметного столика 4 вращают рукоятки механизма ввода 3, при этом центральный шарнирный многократный параллелограмм 5 складывается (или раскла0 дывается). Винтовой толкатель 6 совершает поступательное движение и его винтовой выступ 11, перемещаясь по винтовой канавке отверстия 10, вращает предметный столик 4.

5 Фор мула изобретения

Манипулятор, работающий в герметизированном объеме,по авт.св. № 1484725, отличающийся тем, что, с целью повышения точности позиционирования за

0 счет увеличения жесткости конструкции и демпфирующей способности, каждый из дополнительных упругих шарниров и из шарниров, связывающих звенья шарнирных многократных параллелограммов, снабжен

5 второй парой взаимно перпендикулярно расположенных пружин и промежуточным элементом, установленным между парами пружин, при этом все пружины связаны с торцовыми элементами этого шарнира, а

0 центральный и диаметрально расположенные шарнирные многократные параллелограммы установлены во взаимно перпендикулярных плоскостях.

Вид В

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в технологических процессах изготовления электронных приборов для обработки радиоактивных токсичных взрывчатых веществ, осуществляемых в высоком вакууме, а также для осуществления ряда дополнительных работ в открытом космосе. Целью изобретения является повышение точности позиционирования за счет увеличения жесткости конструкции и демпфирующей способности. Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, содержит крышку 1 вакуумной камеры, механизмы ввода поступательно-качательного 2 и вращательного 3 движений предметного столика 4 и исполнительный орган, включающий три шарнирных многократных параллелограмма 5. Диаметрально расположенные многократные параллеграммы связывают механизм 2 ввода поступательно-качательного движений с платформой 8 в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком 4. Причем диаметрально расположенные и центральный шарнирные многократные параллелограммы 5 установлены во взаимно перпендикулярных плоскостях. Каждый из упругих шарниров 9, соединяющих звенья шарнирных многократных параллелограммов 5, и каждый из дополнительных упругих шарниров 9 состоит из двух торцовых элементов, г-образного сечения и промежуточного элемента, связанных между собой пружинами, установленными перпендикулярно друг другу. 5 ил.

14 А I

61 16

Н

Фиг. 2

14

A-A

Фие.5

Фиъ.б