Полировальный материал "Висканит Советский патент 1990 года по МПК D04H5/02 

Изобретение относится к текстильной промышленности, в частности к нетканым полировальным материалам, и может быть использовано в электронной промьшленности дпя химико-меха- ниЧеского полирования высокотвердых диэлектриков типа гранатов, сапфиров, керамики, композиционных материалов.

Целью изобретения является улучшение качества обрабатьгеаемой поверхности, путем достижения зеркальности поверхности, минимальных нарушенных слоев при сохранении высокой геометрической точности поверхности монокристаллов гранатов и сапфираs используемых для эпитаксиального роста пленок, в качестве подложек мишеней ЭЛЛ и подложек П1С.

ГГредпагаемый полировальный материал получают следуювщм способом. Формируют холст из трех компонентов: волокон капрона, нитрона и вискозы.

Сформированный холст уплотняют иглопробивным способом, пропитывают -вспененным связующим из смеси жестких каучуковых латексов (бутади- ен-стирольный с хлоропреном) в сочетании с предконденса том термореактивной смолы для придания твердости и жест1 ости полировальному полотну и высушивают.

Примеры конкретных составов предлагаемого полировального материала представлены в таблице.

Предлагаемый полировальный материал по эксплуатационным характеристикам (износостойкость выше в

а

1наА

О5 00

2|,5- раза, деформируемость ниже в 1|,5 раза) превышает известный поли- р|овапьный материал и, главное, позволяет применять высокие удельные нагрузки Б процессах химико-технологической обработки ппя получения кристаллографически и геометрически совершенных поверхностей твердых монокристаллов типа сапфир, гранат, а также твердых композитов и керамики.

ормула изобретения Полировальный материал в виде во- окнистого холста из смеси волокон, пропитанных вспененным латексным связующим, привес которого составляет 50-70 мае.ч., отличающийя тем, что, с целью улучшения поли вующих свойств для монокристаллов ти- па сапфира, граната, керамики и ком- гюзитов, холст вьтолнен из смеси

коусадочного волокна нитрон и штапельного волокна вискоза при следующем соотношении компонентов. Мае.ч.

Полиамидное

волокно капрон55-60

Высокоусадочное

волокно нитрон25-35

Штапельное волокно

вискоза5-20,

а связующее представляет собой смесь латексов бутадиен-стирольного и хлор(опренового, структурированных предконденсатом термореактивной смолы, при следующих соотношениях компонентов, мае.ч.:

Латекс бутадиенетирольный 60-80

Латекс хлоро- преновый Предконденсат термореактивной

Изобретение относится к текстильной промышленности и позволяет улучшить качество обрабатываемой поверхности. Полированный материал "Висканит" выполнен в виде волокнистого холста из смеси волокон, пропитанных связующим, привес которого составляет 50-70 мас.ч., холст выполнен из смеси полиамидного волокна капрон, высокоусадочного волокна нитрон и штапельного волокна вискоза при следующем соотношении компонентов, мас.ч.: полиамидное волокно капрон 55-60

высокоусадочное волокно нитрон 25-35

штапельное волокно вискоза 5-20, а в качестве связующего используют смесь латексов бутадиен-стирольного и хлоропренового, структурированных предконденсатом термореактивной смолы при следующем соотношении компонентов, мас.ч.: латекс бутадиен-стирольный - 60-80

латекс хлоропреновый 17-38,5

предконденсат термореактивной смолы 1,5-3. 1 табл.