Способ получения нетканого полировального материала Советский патент 1982 года по МПК D04H5/02 D04H1/64 C08L11/02 

Изобретение относится к текстильной промышленности, в частности к производству нетканых полировальных материалов..

Известен способ получения, нетканого полировального материала, в котором, используется связующее на основе бутадиенакрилонитрильного латекса, алюмометилселиконата натрия, ортофосфорной кислоты и мочевины, а также электрокорунда IJ .

Недостатком указанного способа является наличие на получаемых полировальных материалах абразивных частиц электрокорунда, которые -мешают получению высококачественных полировальных поверхностей полупроводников и диэлектриков. Кроме того, эти материалы химически нестойки при полировании в агрессивных средах..

Частично задача повышения прочности, износо- и химической стойкости нетканых полировальных материалов решена известным способом их получения/ заключающимся в том,что холст формируютиз смеси 20-50 вес.% акрилонитрильных и 50-80 вес.% полиамидных волокон, иглопрокалывапт, пропитывают вспененным связующим

из смеси 60-75 вес.ч. карбоксилсодержадцего бутадиенкрилонитрильного латекса и 25-40 вес.ч. дисперсии сопос лимера хлорЬпрена с метилакрилатом, сушат и вулканизуют при. 156165°С 2 .

Но известный способ не обеспечивает получение материалов с удовлет Q верительными эксплуатационными свойствами, так как их прочность, износои химическая стойкость остаются недостаточньоми для успешного проведе ния процесса полирования полупроводников и диэлектриков.

15

Целью изобретения является улучшение эксплуатационных свойств полировального материала за счет повышения его прочности,износо- и химической стойкости (в агрессивных средах).

20

Поставленная цель достигается тем, что в способе получения нетканого полировального материала, включающем пропитку иглопробивного холста из синтетического волокна вспененным

25 связующим из смеси 60-75 вес.ч.

карбоксилсодержащего бутадиенкрилонитрильного латекса и 25-40 вес.ч. дисперсии сополимера хлоропрена с метилметакрилатом, сушку и последую3Q ШУЮ вулканизации, пропи гывают холст из полиэфирного волокна связующим, содержащим дополнительно 0,0110 вес.ч Г гидроокиси щелочного мета ла и 0,0001-0,1 вес.ч. алюминиевых квасцов, а вулканизацию проводят при 120-170°С.пример 1. Формируют нетканый холст из 100 вес.% полиэфирного волокна, иглопрокалывают, пропитыва вспененным связующим из смеси 60 вес.ч. карбоксилсодержащего бута дйенкрилонитрильного латекса и 40 вес,ч. дисперсии сополимера хло опрена с метилметакрилатом с добав ка 0,1 вес.ч. гидрата окиси щелоч ного металла и 0,0001 вес.ч. алюминиевых квасцов. Затем сушат и прово дят вулканизацию при 120®С. .Пример 2. Формируют нетканый холст из 100 Beci% полиэфирных волокон, иглопрокалывают, пропитыва ют вспененным связующим из смеси 67,5 вес.ч. карбоксилсодержащего бутадиенакрилонитрильного латекса и 32,5 вес.ч. дисперсии сополимера хлоропрёна с метилметакрилатом с добавк 1ми 5 вес.ч. гиДрата окиси щелочного металла и 0,05 вес.ч. алюминиевых квасцов. Сушат и проводят вулканизацию при . . Пример 3. Формируют нетканый холст из 100 вес.% полиэфирных волокон., иглопрокалывают, пропитыва iQT вспененным связующим из смеси 75 вес.ч. карбоксилсодержащего бута диенакрилонитрильного латекса и 25 вес, ч. дисперсии сополимера хлоропрёна с метилметакрилатом с добавками 10 вес.ч. гидрата окиси щелочного металла и 0,1 вес ..ч. алюминиевых квасцов. Затем сушат и проводят вулканизацию при . Предлагаемый способ позволяет получать полировальный материал, превышающий материалы, производимые по известному способу, по прочности в 2 раза, по износо-и химической стойкости в 7-10 раз. В отличие от ранее известных, нетканый полировальный материал, полyчaeIvIый пб предлагаемому способу, применим также в процессах обработки высокотвердых диэлектриков, причем во всех агрессивных средах. Кроме того, использование нетканого полировального материала, получаемого согласно предлагаемого способа, позволит значительно интенсифицировать процессы химико-механической полировки, а также резко повысить качество и выход приборов электронной техники на основе полупроводниковых соединений и диэлектриков. Формула изобретения Способ получения нетканого полировального материала, включакиций пропитку иглопробивного холста из синтетического волокна вспененным связующим из смеси 60-75 вес.ч. карбоксилсодержащего бутадиенакрилонитрильного латекса и 25-40 вес.ч. дисперсии сополимера хлоропрёна с метилметакрилатом, сушку и последующую вулканизацию, отличающийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных свойств полировального материала за счет повышения его прочности, износо- и химической стойкости, пропитывают холст из полиэфирного волокна связующим, содержащим дополнительно 0,01-10 вес.ч. гидроокиси щелочного металла и 0,0001-0,1 вес.ч. алюминиевых квасцов, а вулканизацию проводят при 120-170 С. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР №685671, кл. С 08 L 9/04, 1978. 2.Авторское свидетельство СССР № 460337,кл. D 04 Н 5/00,1975(прототип)