Нетканый полировальный материал Советский патент 1987 года по МПК D04H5/02 

Изобретение относится к нетканому полировальному материалу и может использовано в электронной промышленности для химико-механического полирования всевозможных полупроводниковых монокристал лических соединений и диэлектриков.

Целью изобретения является повышение качества полируемой поверхности.

Нетканый полировальный материал выполняют в виде холста из полиэфирного волокна, пропитанного вспененным латекс- ным связуюш.им, при этом одна из сторон пропитанного холста имеет пористое зам- шевидное покрытие, выполненное из смеси карбоксилсодержаш,его латекса, загустителя на основе бутилкрилата и метакри- ловой кислоты, взятых в соотношении 50:50, и дисперсионного порошкового регенерата из шинной резины, при следующем соотношении компонентов мае. ч.: Карбоксил содержащий латекс100

Загуститель2,5-30

Дисперсионный порошковый регенерат из шинной резины5-30

Изобретение иллюстрируется следующими примерами.

Пример I. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связуюш,им из полиуретанового латекса «Латур-1 (30- 50 мас.°/о), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замше- видное покрытие из смеси 100 мае.ч. каучукового карбоксилсодержашего латекса СКН-40-1ГП (30-35 мас.%), 2,5 мае.ч. загустителя и 5 мае. ч. дисперсионного порошкового регенерата из шинной резины (диепора).

Пример 2. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связующим из полиуретанового латекса «Латур-Ь (30- 50 мас.°/о), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замше- видное покрытие из смеси 100 мае.ч. каучукового карбоксилсодержащего ;1атекса СКН--40--1ГП (30-50 мас.о/о), 15 мае.ч. загустителя и 15 мае.ч. диепора.

Пример 3. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связуюидим из полиуретанового латекса «Латур-1 (30- 50 мае./о), фи это.м на одну из сторон пропитанно го холста наносят пористое замше- видное покрытие из смеси 100 мае.ч. каучукового карбоксилсодержащего латекеа БНК-40/4 (40--45 мае.%), 30 мае.ч. за5 густителя и 30 .мае.ч. диепора.

Пример 4. Нетканый полировальный материал выполняют из смееи полиэфирных волокон, пропитывают евязующим из акрилового карбокеилеодержащего латекса

0 МБМ-3 (45-50 мас./о), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замшевидное покрытие из емееи 100 мае.ч. акрилового карбоксилсодержащего латекса с 7% МАК-АК-211 (45- 50 мас.°/о), 2,0 мае.ч. загустителя и 4 мае.ч.

5

диепора.

0

Покрытие сформировать не удаетея, так как жидкая смесь проходит через холет.

Пример 5. Нетканый полировальный материал выполняют из емеси полиэфир- Q ных волокон, пропитывают связующим из акрилового карбоксилсодержащего латекеа МБМ-3 (45-50 мае.%), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замшевидное покрытие из 100 мае.ч. акрилового карбокеилеодержа- 5 щего латекса с 7% МАК-АК-211 (45- 50 мае./о), 3,5 мае. ч. загуетителя и 35 мае.ч. диепора.

Покрытие сформировать не удается ввиду коагуляции смееи.

Пример 6. Нетканый полировальный материал выполняют из емеси полиэфирных волокон, пропитывают евязующим из каучукового карбокеилеодержащего латекса СКН-40-1ГП (30-35 мае.о/о), при этом на одну из сторон пропитанного холс- 2 та наносят пористое замщевидное покрытие из 100 мае.ч. карбокеилеодержащего латекеа е 3% МАК-МБ,М-3 (45-50 мае.о/о), 15 мае.ч. загустителя и 15 мае.ч. диепора.

Пример 7. Нетканый полировальный материал выполняют из смееи полиэфирных 0 волокон, пропитывают связующим из акрилового карбоксилсодержащего латекса с 3% МАК-МБМ-3 (45-50 мае.%), при этом на одну из еторон пропитанного холста наноеят пористое замщевидное покрытие 5 из 100 мае.ч. акрилового карбокеилсодер- жапхего латекса е 5% МАК-МБМ-5е (45-50 мас.%), 30 мае.ч. загустителя и 30 мае.ч. диепора.

Сравнительные данные испытаний нетканого полировального материала даны в таблице (обрабатываемый материал А - В М.

Обеспечивает гладкую зеркальную поверхность, с хорошей геометрией, есть риски.

Обеспечивает гладкую зеркальную поверхность,- практически без рисок, ухудшения геометрических параметров не происходит.