Способ получения сверхпроводящего тонкого слоя Советский патент 1991 года по МПК H01L39/00 

Описание патента на изобретение SU1632382A3

Изобретение относится к технологии получения сверхпроводящее тонких СЛ0.1В.

Целью изобретения является повышение критической темпеоатуры и улучшение сверхпроводящих свойств слоя за счет исключения реакции между материалом подложки и сверхпроводящим тонким слоем.

Исключение взаимодействия сверхпроводящего тонкого слоя YBa.Cu. с подложкой достигается за счет того, что сверхпроводящий тонкий слой дают на подложке, поверхность кото: рой состоит из соединения, имеющего, состав, лежащий на линии раздела фаз с f фазовой диаграммы YtO,- ВаО - СиО.

Наилучшие результаты были полу-С 5

иены при использовании подложек, по- GO верхность которых состоит из Y2BaCuO. tO

На фкг.1 пррдставпеня диаграммаСО

фазового состояния Yj03- ВаО - CuO,QQ

на которой показяны как YBa CujOr Ј , так н Y BaCuOy - соединения, находящиеся на линии раздела фаз; на фиг.2 - результат измерения электрического сопротивления сверхпроводящего тонкого слоя на подложке из Y BaCuOy в зависимости от температуры.

Сверхпроводящий тонкий ел о ftСЯ

YBa CujOY.f , температурная завися-

ность электросопротивления которого показана на фиг.2, был нанесен -рн помощи плазменного распыленно К1 подложку из YgBaCuO, После нанесиYBi CujO jr.g ВоСи02-.

100

loo

-1 300

Т(К|

Похожие патенты SU1632382A3

название год авторы номер документа
Способ получения сверхпроводящего тонкого слоя оксидного материала 1988
  • Ян Виллен Северин
  • Гийсбертус Де Вит
  • Дагоберт Мишель Де Леув
  • Корнелис Адрианус Хенрикус Антониус Мутсарс
SU1678219A3
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКИХ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК 1990
  • Паньков Владимир Васильевич[By]
  • Шамбалев Виктор Николаевич[By]
  • Каланда Николай Александрович[By]
  • Гременок Валерий Феликсович[By]
RU2054212C1
Способ изготовления сверхпроводящего устройства планарного типа 1988
  • Марица Герарда Жозефа Хейман
  • Петер Корнелис Залм
SU1738104A3
МИШЕНЬ ДЛЯ ДИСПЕНСЕРНОГО КАТОДА НА ОСНОВЕ СКАНДАТА БАРИЯ 2012
  • Гертнер Георг Фридрих
  • Кеур Вильхельмус Корнелис
RU2624264C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ОКСИДНОГО СВЕРХПРОВОДНИКА И ОКСИДНОЕ СВЕРХПРОВОДНИКОВОЕ ИЗДЕЛИЕ 1998
  • Смит Джон А.
  • Сима Майкл Дж.
  • Сонненберг Невилл
RU2232448C2
ПЛАСТИНЧАТЫЙ СВЕРХПРОВОДЯЩИЙ ПРОВОД, СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ И СВЕРХПРОВОДНИКОВЫЙ УЗЕЛ ПРОВОДА 2006
  • Тиме Корнелис Лео Ханс
  • Малоземофф Алексис П.
  • Рупич Мартин В.
  • Шоп Урс-Детлев
  • Томпсон Эллиотт Д.
  • Веребельи Даррен
RU2408956C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ ИЗДЕЛИЙ 2003
  • Колосов В.Н.
  • Шевырев А.А.
RU2247445C1
ПИЩЕВОЙ ЭМУЛЬСИОННЫЙ ПАСТООБРАЗНЫЙ ПРОДУКТ И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ 2001
  • Флутер Экхард
  • Хендрикс Хенрикус Арнольдус
  • Остен Ван Корнелис Виллем
  • Стеллема Корнелис Сяуке
RU2277788C2
ПИЩЕВАЯ ПАСТА И СПОСОБ ЕЕ ПРИГОТОВЛЕНИЯ 2001
  • Флутер Экхард
  • Хендрикс Хенрикус Арнольдус
  • Ван Остен Корнелис Виллем
  • Стеллема Корнелис Сяуке
RU2277789C2
ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ СВЕРХПРОВОДЯЩАЯ ПЛЕНКА НА КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ КВАРЦЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ И СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ 2016
  • Порохов Николай Владимирович
  • Хрыкин Дмитрий Александрович
  • Кленов Николай Викторович
  • Маресов Александр Геннадьевич
  • Снигирев Олег Васильевич
RU2641099C2

Иллюстрации к изобретению SU 1 632 382 A3

Реферат патента 1991 года Способ получения сверхпроводящего тонкого слоя

Изобретение относится к техно- логин получения ПЛРНОК сверхпроводников. Целью изобретения является по- выпение критической температуры Те пленок и улучшение их сверхпроводящих свойств. Взаимодействие YBaCcO- пленбк с материалом подложки (MgO, Si).приводит к ухудшению сверхпроводящих свойств. Для исключения этого взаимодействия предложено перед нанесением пленки YBa2CubOT наносить на подложку слой YgBaCuO. Способ позволяет наносить пленки YBa CujOf.jT., 90 К. / С

Формула изобретения SU 1 632 382 A3

ВоО

У2Во40;

Фиг. 1

Редактор Л.Лежнина

Составитель И.ФальсковскиЛ

Техред Л.Кравчук Корректор С.Чьрни

Заказ 559

Тираж 355

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям н открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.5 ц. Л/5

Y0,5

Фыг.1

Подписное

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1991 года SU1632382A3

Phys Rev В, 35, (16), р.88218823, 1987
Extended Abstracts for MRS Syropo- eium of High Temperature Superconductor, Anaheim, April 23-24.

SU 1 632 382 A3

Авторы

Вильхельмус Корнелис Кер

Корнелис Адрианус Хенрикус Антониус Мутсарс

Хенрикус Альбертус Мария Ван Хал

Даты

1991-02-28Публикация

1988-07-28Подача