Предметный столик электронного микроскопа Советский патент 1991 года по МПК H01J37/20 

X/VyW К ХААА/У ХУуУ XA/V М . Х/УХ Л/УУ X АДЛ .,

5

20

6 13 1 7 8 Ч 3

5 Фиг.1

Изобретение относится к технике электронной микроскопии и может использоваться для индикации положений скользящего столика в электронном микроскопе при проведении измерений электрофизических характеристик полупроводников, полупроводниковых приборов различного назначения и диэлектриков при воздействии электронных пучков.

Цель изобретения - упрощение конструкции и увеличение точности индикации положения каретки за счет выполнения каретки заодно с движком потенциометриче- ского преобразователя линейного перемещения, что позволяет исключить из конструкции механизм перемещения движка, который является дополнительным источником погрешности.

На фиг. 1 представлен предметный столик, продольный разрез; на фиг,2 - то же, поперечный разрез.

Предметный столик содержит основание 1 с двумя парами жестких выводов 2, к которым присоединены концы обмотки 3 и выводы коллектора 4 потенциометрическо- го преобразователя линейных перемещений столика.

В металлическую крышку 5 установлена каретка 6 с Двумя парами контактных пластинок 7, жестко соединенных между собой и образующих движок 8 потенциометриче- ского преобразователя линейных перемещений. Удлиненной формы боковые и верхняя стенки крышки 5 являются прямолинейными направляющими для каретки 6. В сквозное отверстие на боковой стенке крышки 5 продет винт 9 с кольцевой резиновой прокладкой 10, смазанной высоковакуумным маслом и установленной в канавке на головке 11 винта. Винт 9 завинчен в сквозное резьбовое отверстие на торце каретки 6 и установлен стержнем 12 в отверстие на другой боковой стенке крышки 5. В отверстие на верхней стенке крышки 5 вдоль второй канавки на головке 11 винта установлен штифт 13.

В выполненные на торце каретки 6 два .сквозных отверстия продеты и соединены жестко с движком посредством аралдитной смолы два отрезка проволоки 14, четыре конца которых выведены через щель 15, выполненную на верхней стенке крышки 5, и изогнуты. На четырех концах проволоки установлен и соединен с ними посредством припоя металлостеклянный столик 16 с металлической прямоугольной установочной плоскостью 17, монолитной со столиком, и выводами 18, расположенными вдоль длинных сторон прямоугольной установочной плоскости 17 параллельно прямолинейным

направляющим каретки 6. Столик 16 подсоединен к одному из выводов 18 отрезком проволоки посредством припоя. Боковые стенки удлиненной формы крышки 5 снабжены двумя жесткими выводами 19, монолитными с крышкой. Основание 1 установлено в крышку 5, и они соединены между собой посредством аралдитной смолы так, что контактные пластинки 7 контак0 тируют с витками обмотки 3 и коллектором 4. Преобразователь со столиком 16 установлен выводами 2 и 19 в отверстия на жесткой печатной плате 20, и выводы соединены с токовводами на плате посредством припоя.

5 Столик работает следующим образом.

При повороте головки 11 винта винт 9, заключенный между боковыми стенками крышки 5, штифтом 13 завинчивается в сквозном резьбовом отверстии на торце ка0 ретки 6 и перемещает столик 16 и движок 8 с двумя парами контактных пластинок 7. Прямолинейное перемещение контактов 7 по виткам обмотки 3 и по коллектору 4, а также столика 16 строго пропорционально

5 изменению сопротивления преобразователя.

При проведении измерений электрофизических характеристик исследуемый объект закрепляют над установочной

0 плоскостью 17 посредством соединения выводов объекта с выводами 18 столика припоем, а противоположные концы выводов 18 подключают к задающей и измерительной радиоэлектронной аппаратуре, задают

5 на прямоугольной двухкоординатной системе экрана монитора координаты посредством просмотра в оптический микроскоп исследуемого объекта, размещенного на установочной плоскости 17, и пятна от пучка

0 электронов, падающего на объект перпендикулярно к установочной плоскости 17.

Заземляют столик 16 и крышку 5 для отвода статического заряда при случайном попадании электронного пучка на столик 16,

5 установочную плоскость 17 или крышку 5 и возникновении на них электрических токов и электрических полей, которые отклоняют электронный пучок, воздействующий на исследуемый объект, и являются источниками

0 наводок, приводя к искажению результатов измерений.

Предлагаемая конструкция столика позволяет повысить точность позиционирования образца по отношению к пучку

5 электронов и автоматически зафиксировать координаты с помощью преобразователя линейных перемещений.

Формула изобретения Предметный столик электронного микроскопа, содержащий основание, установленную в нем на направляющих каретку, соединенную с держателем образца и движком потенциометрического преобразования линейных перемещений каретки, выполненным в виде прямолинейного каркаса с обмоткой, коллектора и контактных элементов, закрепленных на движке, и механизм перемещения каретки, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и увеличения точности индикации положения каретки, соединение каретки с движком выполнено жестким, а держатель образца снабжен прямоугольной металлической установочной пластиной и двумя рядами электрических выводов, размещенных вдоль ее длинных сторон на изоляторах.

Изобретение относится к технике электронной микроскопии. Цель изобретения - упрощение .конструкции и увеличение точности индикации положения каретки. Предметный столик содержит основание 1 с установленными на нем обмоткой 3 и коллектором 4 потенциометрического преобразователя линейных перемещений. В крышку 5 установлена каретка 6 с пластинами 7, образующими движок 8 потенциометрического преобразователя линейных переме77 Ю щений. Винт 9 и каретка 6 образуют винтовую пару. На каретке 6 закреплен металло- стеклянный столик 16 с металлической прямоугольной установочной плоскостью 17 и выводами 18. Предметный столик установлен с помощью жестких выводов 2 и 19 на жесткой печатной плате 20. При повороте головки винта 9 осуществляется линейное перемещение каретки 6 и вместе с ней и столика 16, при этом одновременно с потенциометрического преобразователя считывается информация о величине линейного перемещения столика. При проведении измерений электрофизических характеристик исследуемый объект закрепляют под установочной плоскостью 17 посредством соединения выводов объекта с выводами 18 столика. Точность позиционирования образца по отношению к пучку электронов повышается за счет жесткого соединени-я каретки и столика. 2 ил. WJ7 со С 15 72 о CJ сь 00 Ю ел

16

20 z 19

Фиг. 2.

18

17 15

1