Устройство для очистки и охлаждения проб газа Советский патент 1991 года по МПК G01N1/22 

(21)4629918/26

(22)03.01.89

(46) 23.04.91. Бюл. № 15

(72) Д. И. Лившиц, М. Д. Лившиц

и А. В. Швец

(53)543.053(088.8)

(56)Авторское свидетельство СССР № 412910, кл. В 01 D 46/02, 1974.

Авторское свидетельство СССР № 1081464, кл. С 01 N 1/22, 1983.

(54)УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ И ОХЛАЖДЕНИЯ ПРОБ ГАЗА

(57)Изобретение относится к средствам контроля, в частности к конструкции устройств для очистки и охлаждения проб газа, подаваемых на газоанализатор, и может быть использовано в специальном технологическом оборудовании, предназначенном для проявления фоторезиста на платах тонкопленочных микросборок. Цель изобретения - повышение эффективности очистки проб газа, содержащего аэрозольные включения. На заготовку, закрепленную на центрифуге 17, подается органический растворитель, образующий аэрозоль. Через канал 15, патрубки 16 подачи проб газа, полость, образованную между неподвижной обечайкой 5 и подвижной обечайкой 7, патрубки 3, фильтры 4, сосуд 1 и диафрагмы 2, эжектором датчика уровня взрывоопасной концентрации всасывается проба газа, содержащего аэрозольные включения. По соплу 13 подается сжатый воздух, который, попадая на лопасти 10 крыльчатки 9, вращает подвижную обечайку 7 вокруг неподвижной обечайки 5, после чего проходит через диски 11, охлаждает их и выходит в вентиляционный отсос 14. Шнек 8, охлажденный при контакте с подвижной обечайкой 7, соприкасаясь с газом, конденсирует аэрозоль, который стекает по шнеку 8 в нижнюю часть полости между неподвижной обечайкой 5 и подвижной обечайкой 7. Неравномерное расположение лопастей 10 и установка неподвижной обечайки 5 на упругом основании 6 создает встряхивающий эффект, что обеспечивает более эффективное отделение аэрозоля от пробы газа. 2 з. п. ф-лы, 2 ил.

SS

(Л

С5 4 GO СО 00 СО

Изобретение относится к средствам контроля, в частности к конструкциям устройств для очистки и охлаждения проб газа, подаваемых на газоанализатор, и может быть использовано в специальном технологическом оборудовании, предназначенном для проявления фоторезиста на платах тонкопленочных микросборок.

Цель изобретения - повышение эффективности очистки проб газа, содержащих аэрозольные включения.

На фиг. 1 показано устройство, осевое сечение; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1.

В установках проявления негативных фоторезистов в качестве рабочих реагентов применяется толуол или изопропиловый спирт, образующие при обработке заготовки аэрозольные газовые смеси, концентрирующиеся в верхней части рабочей зоны, из-за чего затруднен контроль проб газа, содержащего аэрозольные включения.

Устройство для очистки и охлаждения проб газа содержит сосуд 1, представляющий собой кольцевую камеру, на внутренней стенке которой расположены диафрагмы 2 ввода пробы газа, а на наружной - тангенциальные патрубки 3 с фильтрами 4, причем тангенциальные патрубки 3 за фильтрами 4 связаны с внутренним стаканом 5, установленным на упругом основании 6, цилиндрическую обечайку, 7 на внутренней поверхности которой имеется шнек 8 из сетки, а на наружной - крыльчатка 9, лопасти 10 которой имеют неравномерный шаг и ряд перфорированных дисков 11. Снаружи обечайки 7 установлен кожух 12, имеющий в зоне расположения крыльчатки 9 соединенные с магистралью сжатого воздуха (не показана) сопла 13, а в нижней части - вентиляционный отсос 14. Приспособление подвода анализируемой пробы и подачи газа к датчику уровня взрывоопасной концентрации состоит из канала 15 подачи пробы газа к датчику уровня взрывоопасной концентрации соединенного патрубками 16 подачи проб газа со стаканом 5 в его верхней части.

Устройство установлено над центрифугой 17, концентрично с которой установлена подвижная ванна 18, через уплотнение 19 связанная с отражателем 20, в верхней части которого, соосно центрифуге установлена форсунка 21. Отражатель 20 конструктивно связан с внутренней стенкой сосуда 1.

Устройство для очистки и охлаждения проб газа работает следующим образом.

Из форсунки 21 на заготовку, закрепленную на центрифуге 17 подается органический растворитель, часть которого стекает в ванну 18, а часть, отразившись от отражателя 20, образует аэрозоль. Эжектор датчика уровня взрывоопасной концентрации через канал 15, патрубки 16 подачи проб газа, полость, образованную стаканом 5 и цилиндрической обечайкой 7, патрубки 3, фильтры 4, сосуд 1 и диафрагмы 2

всасывает пробу газа, содержащего аэрозольные включения.

При прохождении через фильтры 4 газ очищается от механических примесей, затем в полости, образованной между стаканом 5 и подвижной цилиндрической обечайкой 7,

начинает подниматься вверх. Одновременно с этим по соплу 13 подается сжатый воздух, который, попадая на лопасти 10 крыльчатки 9, вращает подвижную цилиндрическую обечайку 7 вокруг подвижного стакана 5, после чего проходит через диски 11, охлаждает их и выходит в вентиляционный отсос 14. Шнек 8, охлажденный при контакте с подвижной обечайкой 7, соприкасаясь с газом, конденсирует аэрозоль, который стекает по шнеку 8 в нижнюю

0 часть полости между стаканом 5 и подвижной обечайкой 7. Неравномерное расположение лопастей 10 и установка стакана 5 на упругом основании 6 создает встряхивающий эффект, что обеспечивает более

с эффективное отделение аэрозоли от пробы газа.

Применение предлагаемого устройства позволяет повысить эффективность очистки проб газа, в результате чего повышается взрывобезопасность специального техноло0 гического оборудования при обработке плат тонкопленочных микросборок органическими растворителями, образующими взрывоопасные аэрозоли.

Формула изобретения

5

5 содержащего аэрозольные включения, оно снабжено тангенциальными патрубками, цилиндрической обечайкой, шнеком из сетки, крыльчаткой, перфорированными дисками и кожухом, сосуд выполнен в виде кольцевой камеры, диафрагма ввода пробы газа

0 установлена на ее внутренней стенке, а тангенциальные патрубки, соединенные с фильтрами, установлены на наружной стенке, приспособление подвода анализируемой пробы выполнено в виде стакана, соосно с ним установлена с возможностью вращения

5 вокруг него цилиндрическая обечайка, шнек установлен на ее внутренней поверхности, а крыльчатка и перфорированные диски -

на наружной поверхности, кожух установлен снаружи цилиндрической обечайки.

А-А

в

12

Фиг.8