Вакуумный молекулярный насос Советский патент 1991 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных насосов.

Цель изобретения - улучшение откач- ных характеристик.

На фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 - узел крепления ста- торного диска на корпусе.

Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 с всасывающим и нагнетательным патрубками 2 и 3, закрепленные на внутренней поверхности корпуса 1 статорные диски 4 с рабочими пазами 5 и ограничители 6 осевого перемещения статорных дисков 4 и установленный на оси корпуса 1 ротор 7. Каждый статорный диск4 выполнен с односторонним расположением рабочих пазов 5 закреплен на корпусе 1 при помощи биметаллического сильфона 8, на выпуклой стороне каждого гофра которого расположен металл с большим коэффициентом термического расширения, чем на вогнутой.

Насог работает следующим образом.

Откачиваемый газ через всасывающий патрубок 2 поступает в корпус 1, где, взаимодействуя с быстровращающимися ротором 7 и рабочими пазами 5 статорных дисков 4, переносится в сторону нагнетательного патрубка 3. При прогреве насоса и разгоне при этом ротора 7 до скорости меньше критической сильфоны 8 разжимаются, раздвигая статорные диски 4 и увеличивая зазор между ними и ротором 7. Величина перемещения статорных дисков 4 ограничена при помощи ограничителей 6.

В результате, обеспечивая при сборке насоса минимальные зазоры между статор- ными дисками 4 и ротором 7, исключается возможность заклинивания ротора при нагреве насоса. Минимальность зазора является фактором, определяющим улучшение откачных характеристик.

Формула изобретения

Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус с всасывающим и нагнетаО

ю го

тельным патрубками, закрепленные на внутренней поверхности корпуса статор- ные диски с рабочими пазами и ограничители осевого перемещения статорных дисков и установленный по оси корпуса ротор, о т- личающийся тем, что, с целью улучшения отказных характеристик, каждый статорный диск выполнен с односторонним расположением рабочих пазов и за- креплен на корпусе при помощи биметаллического сильфона, у которого выпуклая сторона каждого гофра выполнена из металла с большим коэффициентом термического расширения, чем вогнутая.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В корпусе 1 на внутренней поверхности при помощи биметаллических сильфонов (С) 8 закреплены статорные диски (Д) 4 с односторонними рабочими пазами 5. На выпуклой стороне каждого гофра С 8 расположен металл с большим коэффициентом термического расширения, чем на вогнутой стороне С 8. При прогреве насоса увеличивается зазор между Д 4 и ротором 7. Перемещение Д 4 ограничено посредством ограничителей 6. 2 ил.

Мес/ла

/почечной

сбзрки

Места контакт но-ролико- вой сборки

Редактор М.Васильева

Фа г. 2

Составитель В.Кряковкин Техред М МоргенталКорректор Т.Колб