МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙНАСОС Советский патент 1964 года по МПК F04B37/02 F04F11/00 

Известны магнитные электроразрядные высоковакуумные насосы триодного типа, содержаш,ие размещенный в магнитном ноле корпус с распыляемым катодом, например титановым, анодом и электродами, находящимися под потенциалом корпуса.

В предложенном насосе анод и электроды помещены в ёмкость с охлаждающей жидкостью, например жидким азотом.

Такое выполнение насоса позволит увеличить скорость откачки и повысить предельный вакуум.

На фиг. 1 схематически изображен предложенный насос, продольный разрез; на фиг. 2-то же, вид сверху.

Насос содержит корпус 1 с размещенными внутри распыляемыми сетчатыми титановыми катодами 2, анодом 3 и электродами 4. Анод и электроды находятся под потенциалом корпуса. На титановые катоды через высоковольтный вакуумный ввод 5 подается отрицательное напряжение. Магнитное поле создаетсй магнитной системой 6. В результате разряда Пеннинга, возникающего в магнитных злектроразрядных насосах, происходит расПыление материала катода и сорбция газа

распыленным материалом, осаждающимся на аноде и электродах. Для увеличения откачивающего действия напыленных титановых пленок анод и электроды частично помещены в ёмкость 7 с охлаждаемой жидкостью, например азотом. Находящиеся в тепловом контакте с жидкостью анод и электроды охлаждаются за счёт тенлопроводности, и сорбциониые свойства напыленных на них титановых пленок улучщаются, в результате чего увеличивается скорость откачки и улучщается предельный вакуум.

Предмет изобретения

Магнитный электроразрядный высоковакуумный насос, содержащий размещенный в магнитном поле корпус с распыляемым катодом, например титановым, анодом и электродами, находящимися под потенциалом корпуса, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости откачки и повышения предельного вакуума, анод и электроды помещены в ёмкость с охлаждающей жидкостью, например жидким азотом.

-л

F ffffffff

F

1.

VuS

/V

: