Сетчатая маска для изготовления пленочной фильтровальной перегородки Советский патент 1991 года по МПК B01D39/14 

Изобретение относится к ядерной и фильтровальной технике и может быть использовано для изготовления ядерных и, фильтровальных перегородок.

Целью изобретения является повышение точности изготовления перегородки.

На фиг.1 изображена сетчатая маска, общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - отверстия внутри ячеек опорной сетки маски.

Сетчатая маска содержит никелевую пластину 1 микронной толщины,в которой методами гальванопластики изготовлены по фотошаблону с хромовым покрытием прочная опорная сетка с перемычками 2, а в квадратных ячейках - отверстия, вдоль периметра и перемычек 2 установлены ферромагнитные ребра 3 жесткости, которые закреплены слоем осажденного никеля 4 или с помощью брезинг-процесса и образуют замкнутую жесткую решетку. Такая решетка может быть изготовлена заранее и

закреплены указанными способами в готовом виде.

Маска устанавливается на лицевой стороне пленки 6 своей плоской неоребренной стороной, затем совмещается с окном амбразуры циклотроны и закрепляется длинной стороной 5 на рамке обоймы плоских магнитов 7. Последние притягивают ферромагнитную решетку к себе и она в силу жесткости плотно прижимает всю никелевую пластину к пленке 6. опирающейся на плоскость магнитов 7. Таким образом обеспечивается полное плотное прилегание никелевой пластины на всей рабочей площади пленки 6.

После облучения ионами пленка 6 перемещается перемоточным аппаратом на расстояние, равное ширине опорной сетки в никелевой пластине, и вновь подвергается облучению. Этот процесс повторяется до получения заданного количества пленочной ядерной фильтровальной переюродки. Посл

с

о с VI ю о го

еле травления треков и нейтрализации в пленке образуются сквозные отверстия, точно повторяющие отверстия в никелевой пластине.

Сетчатая маска позволяет выпускать пленочную ядерную фильтровальную перегородку, например, при 5 мкм поперечных размерах прямоугольных отверстий с прозрачностью 60%, при которой пропускная способность ядерного фильтра увеличивается в 6 раз, а гидравлическое сопротивление уменьшается в 15 раз по сравнению с фильтровальной ядерной перегородкой, выпускаемой в настоящее время с круглыми отверстиями диаметром 5 мкм. Применение таких фильтровальных перегородок сэкономит значительное количество материалов, электроэнергии и топлива в народном хозяйстве, затрачиваемых на изготовление и эксплуатацию многочисленных фильтровальных устройств

Формула изобретения

Сетчатая маска для изготовления пленочной фильтровальной перегородки, содержащая никелевую пластину микронной толщины со сквозными микронными отверстиями в ячейках ее опорной сетки, прилегающая к лицевой стороне пленки, на обратной стороне которой установлены плоские магниты, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности изготовления перегородки, пластина снабжена

ферромагнитными ребрами жесткости, расположенными по периметру и вдоль перемычек опорной сетки, образующими замкнутую жесткую решетку.

Изобретение относится к изготовлению ядерных и фильтровальных перегородок и позволяет достигнуть повышения точности изготовления фильтровальной перегородки за счет устранения неплотного прилегания никелевой маски к облучаемой пленке на всей ее рабочей площади. Сетчатая маска для изготовления пленочной фильтровальной перегородки содержит никелевую пластину с микронными отверстиями в ячейках ее опорной сетки, причем пластина снабжена ферромагнитными ребрами жесткости, расположенными по периметру и вдоль перемычек опорной сетки, образующими замкнутую жесткую решетку. 3 ил.

4.

7

Фиг.

А

X.

3 3 3

Фиг. 2

/ТОПЬ

3 .