Вакуумный манипулятор Советский патент 1991 года по МПК B25J21/00 B25J11/00 

Б-5

д-д

Изобретение относится к устройствам вакуумной техники и может использоваться в вакуумных установках для передачи изделий из одной вакуумной камеры в другую, например для передачи подложек в установках электронной и ионной спектроскопии. Целью изобретения является повышение надежности работы за счет увеличения жесткости конструкции. Вакуумный манипулятор состоит из герметического корпуса 1, ползуна 2, выполненного в виде трубы с двумя парами продольных параллельных дорожек с выступами между ними, на которых установлены опорные ролики, а также захвата 4 с приводом его зажима и приводом 3 его продольного перемещения. Привод 3 продольного перемещения включает двигатель 19 и зубчато-реечную передачу, рейка 24 которой смонтирована на выступе ползуна 2. Захват 4 выполнен в виде корпуса и двух рычагов 9 и 10, установленных с возможностью поворота на осях, закрепленных в корпусе захвата 4, и снабженных взаимодействующими друг с другом выступами. При этом рычаг 9 соединен с пружиной 12, прикрепленной к корпусу захвата, а рычаг 10 соединен через ролик 11 с тросиком 29 механизма зажима. Тросик 29 привода зажима расположен сбоку от ползуна 2. 1 з.п.ф-лы, 9 ил.

Фиг. 5

12

Фиг. 4

Фиг. 5

rt

Л

L ттФ

w

Риг.б

JL-S

F4J-vvwwiu г С

(pUZ. 7