Состав для снятия тонкопленочных покрытий на основе окислов @ -элементов IY-й группы с металлических деталей Советский патент 1991 года по МПК C23F1/44 

Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к снятию с металлических поверхностей тонкопленочных покрытий на основе окислов а-элементов IV-группы, и может быть использовано в оптическом производстве для регенерации металлических экранов установок вакуумного напыления.

Целью изобретения является ускорение процесса удаления покрытия и предотвращение растравливания металла основы.

П р и м е р 1. Для приготовления травильного раствора к 0,697 кг (0,697 л) воды добавляют порциями 0,25 кг (0,176 л) азотной кислоты (плотность 1,42 г/см3), 0,05 кг (0,045 л) плавиковой кислоты (плотность 1,12 г/м3). Раствор перемешивают и оставляют на 0,5 ч для охлаждения. Затем в охлажденный раствор добавл я ют 0,003 кг 2-нафтол-1 -нитрозо. В растворе кислот труднорастворимый лиганд постепенно растворяется.

2-нафтол-1-нитрозо можно также предварительно растворять в уксусной кислоте. На свойства донорно-акцепторной системы и кинетику растворения многослойных оксидов уксусная кислота влияния не оказывает.

Травлению подвергают детали из стали 12X18 Н ЮТ с нанесенными окислами Zn02 Si02 толщиной 0,005-2 мв зависимости от количества слоев: образец 1- 25 слоев, 2 - 75 слоев, 3-100 слоев.

Процесс травления осуществляют погружением деталей в травильный раствор на специальных держателях на 2 - 9 мин в зависимости от числа слоев покрытия, травильный раствор перемешивается. После удаления покрытия детали извлекаются из травильной ванны, промываются последовательно в двух ваннах с проточной водой.

О 00

о о

СлЭ

4

Ј

Если поверхность детали частично покрыта оксидными пленками, удаление последних можно проводить локально, нанося травильный раствор на 2-10 мин только на участок, покрытый плёнками.

Составы опробованных растворов приведены в табл,1.

Результаты испытания предложенного и известного составов представлены в табл.2,

Для приготовления растворов применя- к)т 2-нафтол-1-нитрозо по ГОСТ 7756 - 55.

Структурная формула органического ли- гвнда 2-нафтол-1-нитрозо (реактив Ильинского 2 нафтохинон, 1-оксим):

0 он мо-с10н6он

М.В, 173,8, желтые иглы, tnn. 105 - 107°С,

Качество обработанной поверхности определяют визуально, а также путем измерения геометрических параметров оставшейся пленки. Сравнение темпа снятия покрытия осуществляют по измерению времени, необходимого для полного снятия оксидов с поверхности.

Значительное увеличение скорости снятия оксидных пленок с металлов в предложенном растворе по сравнению с известным обусловлено одновременным Протеканием двух процессе : растворение Йксидов металлов в донорно-акцепторной системе в результате реакций комплексооб- разования и отслаивание оксида вследствие нарушения адгезии оксидной пленки к металлу. Нанесение многослойных покрытий в режиме вакуумного напыления приводит к тому, что покрытие имеет поры, проницаемые для донорно-акцепторных систем. Состав проникает к поверхности раз- Дела оксид - подложка металла и реагирует

с оксидом. Это приводит к развитию микротрещин и разрыву кристаллизационного контакта между оксидом и подложкой без нарушения полированной поверхности ме- талла. .Происходит отслаивание слоев покрытия в виде чешуи размером приблизительно 2x2 мм, которые скапливаются на дне ванны травления.

Добавление поверхностно-активного 2- нафтал-1-нитрозо приводит также к ускорению процесса отслаивания покрытия вследствие понижения прочности твердого тела в тонком поверхностном слое (появление эффекта адсорбционного понижения прочности по П.А.Ребиндеру). Скорость процесса значительна. Адсорбция 2-наф- тол-1-нитрозо на поверхности металла исключает реакцию травления металла кислотами, что приводит к сохранению мик- рорельефа полированной поверхности.

Таким образом, применение предложенного состава позволяет в 20 раз увеличить скорость удаления покрытия и исключить растравливание металлической поверхности.

Формула изобретения Состав для снятия тонкопленочных покрытий на основе окислов а-элементов IV- группы с металлических деталей, содержащий азотную, плавиковую кислоты и воду, отличающийся тем, что, с целью ускорения процесса удаления покрытия и предотвращения растравливания металла основы, он дополнительно содержит 2-наф-. тол-1-нитрозо при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Азотная кислота (плотность 1,42 - 30

Плавиковая кислота (плотность 1,12 г/см3)4-6

2-нафтол-1-нитрозо0,2 - 0,4

ВодаОстальное.

Таблица 1

Таблица 2

Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к снятию с металлических поверхностей тонкопленочных покрытий на основе окислов - элементов IV группы. Целью изобретения является ускорение процесса удаления покрытия и предотвращение- растравливания металла основы. Состав для снятия тонкопленочных покрытий на основе окислов - элементов IV группы содержит, мас.%: азотная кислота (плотность 1,42 г/см3) 20 - 30, плавиковая кислота (плотность 1,12 г/см3) 4-6. 2-наф- тол-1-нитрозо 0,2 - 0,4, вода - остальное. Ускорение процесса удаления покрытия и предотвращение растравливания металла основы достигается за счет дополнительного введения в раствор 2-нафтол-1-нитрозо. 2 табл.

3 ч

3ч 40 мин

4ч

7,5

12,2

14,6

1,6 6,4 9,2

3,6 6,3 11,2

42 47

53 г;

29 34 39

Растрав поверхности

Дефектов на поверхности нет