Интерференционное покрытие Советский патент 1991 года по МПК G02B1/10 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при изготовлении светоделительных и пропускающих интерференционных покрытий.

Целью изобретения является повышение коррозионной стойкости покрытия.

Увеличение коррозионной стойкости интерференционного покрытия достигается за счет дополнительного нанесения на него слоя диоксида кремния оптической толщиной А/4 и слоя оксида алюминия А120з оптической толщиной

2m U я

где Арабочая длина волны, а т - целые числа от 1 до 4.

Покрытие наносят следующим образом

На подложку из стекла марки К8. КУ-1.КВ и других наносят интерференционное покрытие из чередующихся диэлектрических слоев с высоким пв 1,8 - 2,3 и низким п 1,40 - 1,47 показателями преломления и оптической толщиной каждого А/4. Оптический элемент помещают в вакуумную установку, например ВА-710. снабженную двумя электронно-лучевыми испарителями, системой кварцевого контроля толщины слоев, обеспечивающей точность нанесения слоев ± 2%, и подколпачным оборудованием, обеспечивающим однородность покрытия по диаметру подложки не менее 2%. Загружают в первый тигель электроннолучевого испарителя материал с высоким показателем преломления, например диоксид гафния, не менее 30 г и оксид алюминия

о

00

с со ю го

А120з не менее 10 г, во второй тигель - материал с низким показателем преломления, например BaF2 и диоксид кремния в таких же количествах, Откачивают вакуумную камеру до давления не хуже 2 10 торр (2,66 10 Па). Проводят нанесение слоя диоксида гафния, например, со скоростью 55 нм/мин оптической толщиной 62 нм (для А 248 нм). Затем производят нанесение фторида бария аналогичной толщины.

Таким образом на подложку наносят требуемое число слоев, например семь, заканчивая процесс нанесением слоя с высоким показателем преломления - диоксида гафния. Далее на полученную интерференционную систему из семи слоев наносят слой диоксида кремния аналогичной толщины, например, со скоростью 70 нм/мин. Затем производят нанесение слоя оксида алюминия оптической толщиной, например, 310 нм, что соответствует 5/4 А (т 2) для А- 248 нм, со скоростью, например, 16 км/мин. Различие скоростей нанесения различных слоев обеспечивает создание различных структур слоев, что позволяет проводить прерывание сквозного роста пор в последующих слоях. В качестве веществ с

высоким показателем преломления могут использоваться диоксид циркония, сульфид цинка и другие, а с низким показателем преломления - фторид магния, диоксид крем- ния, содержащий 3% по весу А120з и др.

Таким образом, полученное интерференционное покрытие имеет коррозионную стойкость во фтооирующей среде на порядок выше, на 20 % выше лучевую стойкость

и в 5 - 10 раз большую работоспособность. Формула изобретения Интерференционное покрытие из чередующихся диэлектрических слоев с высоким пв 1,8 - 2,3 и низким пн - 1,40 - 1,47

показателями преломления и оптической толщиной каждого, равной Я/4, где А - рабочая длина волны, нанесенное на прозрачную на рабочих длинах волн подложку, причем первый и последний, считая от подложки, слои - с высоким показателем преломления, отличающееся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости покрытия, оно дополнительно содержит нанесенные на покрытие слой диоксида кремния оптической толщиной А/4 и слой оксида алюминия А120з оптической толщиной

- А , где m - целые числа от 1 до 4.

4

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при изготовлении светоделительных и пропускающих интерференционных покрытий. Изобретение позволяет повысить коррозионную стойкость покрытий, работающих во фторирующей среде. Увеличение коррозионной стойкости достигается за счет нанесения покрытия из чередующихся диэлектрических слоев с высоким Пв 1.8 - 2,3 и низким пн 1.40 - 1,47 показателями преломления и оптической толщиной каждого Я/4. где А - рабочая длина волны Первый и последний, считая от подложки, слои - с высоким показателем преломления. Дополнительно наносят слой диоксида кремния оптической то ищи ной А/4 и спой оксида алюминия оптической толщиной 2 m -M ,, л где m целые числа or 1 до 4 Ё