Устройство для получения металлосодержащих пленок из паров химических соединений Советский патент 1991 года по МПК C23C16/458 

Изобретение относится к аппаратам для получения металлсодержащих пленок из паро химических соединений и предназначено для получения моно- м полиметаллических оксидных, карбидных и других пленок для жестких магнитных дисков для записи и воспроизведения звуковых сигналов и видимого изображений.

Цель изобретения - повышение качества пленок путем обеспечения равномерного нагрева м распределения газовом смеси,

На чертеже представлен, схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит корпус 1, стержень-держатель 2, диск-подложку 3, нагреватель 4, питатель 5 га зовой смеси, Отверстие 6 предназначено для вывода реакционных газов,

Нагреватель мо.кет быть выполнен в виде сэктора или сегмента с разной площадью нагрева диска. Размер нагреваемой площади определяется различными технологическими параметрами.процесса, например составом газовой смеси, количеством подаваемых реагентов, скоростью вращения диска-подложки и др. Пмтатель газовой смеси может быть выполнен в виде V-образной трубки или конуса с отверстиями со стороны, обращенной к плоскости диска.

Нагревательное устройство и питатель обеспечивают двусторонний нагрев и подачу пароз металлсодержащих соединений к каждой из двух сторон диска-подложки. Движение паров метчллсодержащих -хими- ческих соединений внутри аппарата осуществляется с помощью неглубокого вакуума (форвакуума). Подачу паров в аппарат производят из терм оста гируемых драаторов.

Регулировка нагрева осуществляется с помощью автотрансформаторов.

Предлагаемая конструкция аппарата имеет ряд отличий от известного; держатель выполнен в виде стержня; с противоположных сторон от оси-держателя (стержня) параллельно- плоскостям диска-подложки установлены нагреватель и питатель паров металлсодержащих соединений,

Можно предположить, что происходит более усредненный равномерный нагрев всей поверхности подложки за счет радиацией иного и конвекционного потоков при многократном прохождении диска-подложки через нагреватель.

Используемый как Б известном, так и в бытующей практике реэистивный контактный нагрев подложек во всех без исключения случаях неспособен обеспечит усреднения скорости теплового движения электронов и равномерного

прогрева в силу наличия отрицательного эффекта витка (неравномерного прогрева каждого из витков спирали нагревателя).

Пример. Подложка-диск из сплава

алюминия с магнием диаметром 130 мм, толщиной 2 мм крепится на цилиндрическом держателе перпендикулярно ехо оси.

После герметизации аппарата в последнем

создают вакуум 2 мм рт. ст., включают нагреватель и вращение диска-подложки со скоростью 2,0 об/мин, При достижении температуры подложки 190° С через распределительное питательное устройство

вводят пары пентакарбонила железа Ре(СО)б в количестве -1,0 г на операцию. В момент ввода паров давление в реакторе увеличивается до 1 мм рт.ст. Соприкасаясь с нагретой подложкой, пары Fe{CO)s

диссоциируют, образуют на ней магнитный железосодержащий слой, состоящий из структурированного Fe, содержащего карбид железа РезС и смесь оксидов железа и РезО.

Электронно-микроскопический анализ

на сканирующем микроскопе позволяет установить высокую равномерность образовавшейся магнитной пленки. Изменение магнитных свойств полученного магнитного диска показывает, что коэрцитивная сила Нс 608 Э, остаточная намагниченность Ir 710 Гс, коэффициент прямоугольности Кп 0,81. Плотность записи при этом составляет П 3185 бит/мм . Эти параметры значигельно превышают таковые для диска, полученного в известном аппарате и в других методах, используемых для создания рабочего металлсодержащего магнитного слоя. Известное устройство имеет более низкие параметры (Нс 480 Э, г 690 Гс, Кп 0,90и П 2320 бит/мм2.

Таким образом, предлагаемая конструкция аппар ата обеспечивает равномерный нагрев подложки и равномерное

распределение реакционного газа, что привод /; к улучшению качества получаемых пленок, а это выражается в п овышнии значений электромагнитных параметров,, преимущественно Нс и П на 20%.

Формула изобретения

Устройство для получения металлсодержащих пленок из паров химических соединений, содержащее корпус, подключенный к вакуумной системе, питатель для

ввода реакционен газовой смеси, держатель подложки,соединенный с приводом, нагреватель и подложку в виде диска, о т- личающееся тем, что, с целью повышения качества пленок путем обеспе

чения равномерного нагрева и расгщеделе-укреплен диск, при этом с противоположный газовой смеси, держатель выполнен вных сторон от оси стержня симметрично виде горизонтально установленного стерж-относительно плоскостей диска устаноале- ня, на котором перпендикулярно его осины нагреватель и питатель газовой смеси.

Изобретение относится к нанесению покрытий в контролируемой атмосфере и может быть использовано для получения металлсодержащих пленок из паров химических соединений, Цель изобретения - повышение качества покрытий путем обеспечения равномерного нагрева и распределения газовой смеси. Устройство включает корпус 1 .который подключен к вакуумной системе, имеющей питатель 5 для ввода реакционной газовой смеси, в корпусе расположен соединенный с приводным механизмом держатель 2 с укрепленной на нем подложкой в виде диска 3, нагреватель 4, Держатель 2 выполнен в виде горизонтально установленного стержня, на котором перпендикулярно его оси укреплена подложка, при этом с противоположных сторон от оси стержня, параллельно плоскостям диска-подложки снизу установлен нагреватель 4, а сверху- питатель 5 газовой смеси. Устройство может быть использовано для получения моно- и полиметаллических оксидных, карбидных и других пленок для жестких магнитных дисков для записи и воспроизведения звуковых сигналов и види-. мого изображения, 1 ил. (Л