АВТОМАТ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ Советский патент 1965 года по МПК H01L21/306 

Известно использование в различных устройствах и приспособлениях для переноса, фиксации и подачи деталей вакуумных присосов, а также подпружиненных подвижных штоков.

В предложенном автомате, предназначенном для травления заготовок полупроводниковых приборов, например кремниевых пластин, и одновременной защиты от травления их рабочей поверхности, в отличие от известных устройств рабочие блоки выполнены таким образом, что шток вакуумного присоса расположен во внутренней полости рабочего блока, которая при помош,и отверстий сообпяается с атмосферой. В верхней части шток вакуумного присоса снабжен втулкой с выступом.

Конструктивные особенности предложенного автомата позволяют устранить подсос травителя и его попадание на заш,иш,енную поверхность заготовок, а также предотвратить попадание жидкости в рабочие органы автомата при отсутствии заготовки.

На фиг. 1 изображена схема предложенного автомата; на фиг. 2-автомат, вид в плане; на фиг. 3 - рабочий блок автомата до приема заготовки.

Предложенное устройство состоит из полого корпуса / с поворотным столом 2, который скреплен с золотниками 5; плоских распределителей 4, барабана 5 со штоками 6, управляемыми от неподвижного копира 7, на которых укреплены рабочие блоки 8; подающего устройства 9, принимающего устройства 10, ванн П, 12, 13 с травильным раствором, раствором для нейтрализации и водой для промывки соответственно.

Рабочие блоки 8 состоят из корпуса 14 с эластичной площадкой 15, втулки 16, штока 17 вакуумного присоса, на верхней части которого укреплен ролик 18 и втулка 19, воздействующая через пружину 20 на клапан 21, седло 22 которого перекрывает вакуумную систему рабочего блока. Перемещение штока 17 вакуумного присоса осуществляется посредством управляемого копира 23, воздействующего на ролик 24, и возвратной пружины 25.

Работа автомата осуществляется следующим образом. Заготовки укладывают на подающее устройство 9. Когда центр очередного рабочего блока 8 совместится с позицией подающего устройства, шток 17 под действием управляемого копира 23 начинает опускаться. При опускании щтока плечо втулки 19 отходит от клапана 2/, седло 22 которого под действием пружины 20 открывает канал и в полости штока создается разрежение.

ное положение, при этом кремпиевая пластина по периферии оказывается прижатой к эластичной площадке 15. Отверстия 26, соединяющие внутреннюю полость корпуса 14 с атмосферой, необходимы для устранения подсоса жидкости из ванн. Приняв пластину, рабочий блок переходит на новую позицию, а его место занимают последующие рабочие блоки. Когда рабочий блок находится над ванной И, шток 6 опускается, и нижняя часть корпуса 14 вместе с пластиной оказывается погруженной Б травильный раствор.

Уровень жидкостей в ваннах поддерживается постоянным. Пройдя ванну 11, блоки 8 попадают в ванну 12 для нейтрализации, после чего они поступают на промывку в ванну 13. После травления, нейтрализации и промывки пластины поступают на позицию съема. Передача прощедщей обработку кремниевой пластины на устройство для приема осуществляется следующим образом.

Плоский распределитель 4 разъединяет каналы стола с вакуумной системой и соединяет их с атмосферой. Шток 17 под действием пружины 25 поднимается, отрываясь от пластины. Кремниевая пластина под действием собственного веса опускается на диск принимающего устройства 10.

Конструкция рабочего блока 8 выполнена таким образом, что возможные нарушения предусмотренного процесса травления могут быть ликвидированы. В случае, если рабочий блок 8 не взял пластину, ничто не препятствует при отходе копира 23 возврату штока 17 под действием пружины 25 в исходное (крайнее верхнее) положение. При подъеме штока /7 плечо втулки 19 соприкасается с клапаном 21, седло 22 которого перекрывает канал и ликвидирует разрежение в полости штока. При опускании рабочего блока в травильный раствор шток оказывается выше уровня жидкости.

Плоский распределитель 4 выполнен таким образом, что после приема пластины и перехода рабочего блока 8 на новую позицию, на некоторое время прекращается соединение канала штока 17 с вакуумным насосом. В этом случае пластины удерживаются за счет остаточного вакуума. В случае, если взятая рабочим блоком 8 кремниевая пластина треснула и имеет место подсос воздуха или если имеет

0 место подсос воздуха за счет кривизны поверхности пластины, а диски препятствуют возврату штока 17 в исходное положение, то в результате подсоса воздуха остаточный вакуум прекращается, и шток под действием пружины 25 возвращается в исходное положение. При этом плечо втулки 19 соприкасается с клапаном 21, седло 22 которого перекрывает канал, и при дальнейшем движении рабочего блока 8 и его опускании в ванну в канале

0 штока 17 не будет разрежения, а сам шток остается выше уровня жидкости.

Предмет изобретения

Автомат для травления, например, заготовок полупроводниковых приборов, состоящий из полого корпуса с поворотным столом, с которым скреплены золотники; вакуумных распределителей, барабана со штоками, управляемыми от неподвижного копира, на которых укреплены рабочие блоки, состоящие из корпуса с эластичной площадкой, штока вакуумного присоса, подвижного относительно корпуса, и поджимающей пружины, отличающийся тем, что, с целью устранения подсоса травителя и его попадания на защищенную поверхность заготовки и в рабочие органы автомата, шток вакуумного присоса снабжен втулкой с выступом и расположен в корпусе рабочего блока, внутренняя полость которого при помощи отверстий сообщается с атмосферой.

Hnpvfiody

/i

Фиг 3