УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ Советский патент 1969 года по МПК H01L21/306 

Известное устройство для травления кремниевых фотоэлектрических преобразователей, содержащее поворотный стол, осветители, ванны для травления, нейтрализации, нромывки и парафинирования лреобразователей, измерительный и исполнительный блоки, имеет весьма низкую .производительность.

В предлагаемом устройстве для травления кремниевых фотоэлектрических преобразователей .повышение производительности его работы достипнуто тем-, что- исполнительный блок снабжен ш.атуном с зах)вата:МИ, соединенным с рычагами, укрепленными на шестернях, находящихся в зацеплении с зубчатыми секторами, соединенными валом с трех плечим рычагом, одно плечо которого опирается на копир, второе управляет микровыключателем измерительного блока, а третье соединено с возвратной пружиной и масляным демпфером.

На фит. 1 изображено о.писываемое устройство; на фиг. 2 - конструктивное вь1полнение исполнительно,го блока.

Устройство содержит поворотный стол 1, исполнительные блоки 2, измерительный блок 3, осветители 4 « расположенные по окружности стола I ванны 5 для травления, нейтрализации, промывки и парафинирования преобразователей.

и 8. На конце шатуна укреплены изолированные захваты 9, контактные иглы 10 которых подключаются -к преобразователям (на чертеже .не показаны). Открытие захватов 9 лроизводится клином и. Рычаги 7 и 5 укреплены на шестернях 12 и 13, находящихся в зацеплении с зубчатыми секторами 14 и 15, укрепленными на 16, на котором укреплен также трехплечий рычаг 17. Плечо 18 рычага 17 снабжено роликом 19, опирающимся на копир 20, управляющий шатуном 6. Плечо 21 рычага 17 соединено с возвратной пружиной 22 и масляным демпфером 23, обеспечивающим плавное перемещение шатуна 6. Плечо 24 рычата

17 в крайнем левом .положении нажимает на микровыключатель 25, выключающий блок контроля-. В прО)цессе работы копир 20 опускает плечо 18 вниз, вал 16 поворачивает шестерни 12 и 13, рычаги 7 и S отводят шатун в от центра стола /, копир 26 через шток 27 воздействует на рычаг 28, захваты 9 раскрываюгся и прижимают очередной преобразователь с транспортного ротора (на чертенке не показан). Преобразователь погружается в травильный раствор, и его рабочая поверхность освещается осветителем 4. Когда к. п. д. преобразователя, измеряемый блоком 3, достигает максимума, захваты 9 .поочередно переносят преобразователь в ванны для нейтрализаразделения элементов с различным к. п. д. нспользуются мик овыключателй 29 и 30 с рычагами 31 и 32, управляемыми копирами 33 и 34.

Предмет изобретения

Устройство для травления кремниевых фотоэлектрических перобразователей, содержащее новоротный стол, осветители, ванны для травления, нейтрализации, нромывки и парафинирования преО|бразователей, измерительный и исполнительный блоки, отличающееся тем, что, с целью .повышения произ-водительности ;устройства, исполнительный блок снабжен шатуном с захватами, соединенным

с рычагами, укрепленными на шестернях, находящихся в зацеплении с зубчатыми секторами, соединенными валом с трехплечим рычагом, одно плечо которого онирается на копир, второе управляет микровыключателем

измерительного блока, а третье соединено с возвратной пружиной и масляным демпфером.

иг.2