Способ изготовления магнитов с перпендикулярной анизотропией из сплава N @ - F @ - В Советский патент 1992 года по МПК H01F10/00 

Изобретение относится к электротехнике, точнее к способам получения постоянных магнитов.

Цель изобретения -увеличение коэрцитивной силы.

П р и м е р 1. Пленка сплава Nd-Fe-B, толщиной 100 мкм, получена ионно-плаз- менным распылением литой мишени со скоростью 25 мкм/ч при давлении аргона 0,1 Па на медную подложку при 280°С. По рентгеновским данным пленка аморфна. Коэрцитивная сила, измеренная как перпендикулярно плоскости пленки, так и вдоль нее, равна 17,5 кА/м. После дополнительной обработки при 800°С в течение одного часа в вакууме 3,0 Па пленка приобрела следующие магнитные свойства:

В 0,98 Тл.|Не- 740 кА/м,(ВНЈ 162 кДж/м3, 0,57 Тл, |НС 880 кА/м, где В, |НС , (BH)tt - соответственно остаточная магнитная индукция, коэрцитивная сила по намагниченности, максимальное энергетическое произведение, измеренные перпендикулярно плоскости пленочных магнитов, Вг и |НС - соответственно остаточная магнитная индукция и коэрцитивная сила по намагниченности, измеренные в плоскости пленочных магнитов.

Пример 2. Пленки сплава Nd-Fe-B толщиной 90 мкм напыляли так же, как в примере 1, но при температуре подложки 300°С. После напыления пленки имели |НС менее 40 кА/м. После термической обработки 700°С, 0,5 часа магниты имели В 1,05 Тл, |Нс 1112кА/м,(ВНй 195кДж/м3.

Пример 3. Пленку сплава Nd-Fe-B толщиной 250 мкм напыляли со скоростью 50 мкм/ч так же, как и в примере 1, на подложку, нагретую до 420°С. Коэрцитивная сила, измеренная как вдоль, так и перпендикулярно плоскости пленки, составляла 24 кА/м.

О

ел со ю го

После дополнительного отжига 700°С три минуты пленка приобрела следующие магнитные свойства:,

Bt 1,0Тл,|Нс 1650 кА/м,(ВН)м 200 кДж/м3. Вг 0,18 Тл, |Н 720 кА/м.

Пример 4. Планки сплава Nd-Fe-B толщиной 200 мкм напыляли со скоростью 50 мкм/ч на подложку при 470°С. Напылен- ные пленочные магниты имеют |НС 56 кА/м. После дополнительного отжига 700°С, 1 час напыленные магниты характеризуются:, 1.

Вг 1.0 Тл, |НС 1200 кА/м, (ВН)М 197кДж/м3.

Пример 5. Пленки сплава Nd-Fe-B толщиной 100 мкм напыляли со скоростью 35 мкм/ч на подложку при 500°С. Напыленные магниты имеют:

Bt 0,88Тл, iHt

. 168кА/м,(ВН)м 66 кДж/м3, Вг 0,46Тл, |НС 192 кА/м. После дополнительного отжига 7,00°С, 1 час напыленные магниты имеют: Вч 0,95 Тл, |НС --352 кА/м, (ВН)м 96 кДж/м°, Вг 0,55 Тл, 1Нс 0,256 кА/м.

Как видно из примеров максимальные значения коэрцитивной силы |НЈ наблюдаются при температуре подложки 300-470°С.

10

Формула изобретения Способ изготовления магнитов с перпендикулярной анизотропией из сплава Nd-Fe-B, включающий напыление на нагретую подложку и термическую обработку, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэрцитивной силы, напыление производят на подложку при 300-470°С.

Изобретение относится к электротехнике, точнее к способам получения постоянных магнитов. Цель изобретения - увеличение коэрцитивной силы. Поставленная цель достигается за счет того, что в способе изготовления магнитов с перпендикулярной анизотропией из сплава Nd-Fe-B, включающем напыление на нагретую подложку и термическую обработку, температура подложки при напылении составляет 300-470°С. Ј