СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЛЕГИРОВАННЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ ГЕРМАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ТИПА Советский патент 1965 года по МПК C22F1/02 

Известен способ получения высоколегированных монокристаллов германия /г-типа проводимости (с концентрацией As до ) вытягиванием из расплава.

Для получения высоколегированных монокристаллов германия со стабильными во врем ни электрическими характеристиками предлагается вытянутый монокристалл подвергать термообработке путем нагрева в течение 2- 4 час нри температуре 870°С с последующей закалкой.

Монокристалл германия вытягивают из расплава, легироваиного мышьяком, но способу Чохральского.

Часть донорной примеси в вытянутом кристалле не входит в твердый раствор, в связи с чем концентрация электрически активной легирующей примеси существенно ниже общей концентрации легирующей примеси в кристалле. Вытянутый кристалл непосредственно после вытягивания подвергают термической обработке в течение 2-4 час. Время термообработки определяют диад-тетром кристалла и условиями его выращивания. Температуру нагрева выбирают с учетом ретроградной растворимости основных легирующих допорных элементов (As,Р) в полупроводнике таким образом, чтобы предельная растворимость примеси при этой температуре была близка к предельной растворимости ее при температуре

эксплуатации приборов, изготовляемых на основе высоколегированного германия.

Для монокристаллов германия, легированных мыщьяком, эта температура близка к 870°С.

Термообработку проводят в атмосфере водорода. После выдержки при температуре 870°С кристалл быстро охлаждают, например, в воде.

В -результате термообработки вся легирующая примесь переходит в твердый раствор, в результате чего концентрация носителей тока значительно увеличивается, а электрические характеристики монокристалла становятся стабильными во времени.

Способ может быть применен также для получения высоколегированных монокристаллов л-типа кремния и арсеница галлия.

Предметизобретения

Способ получення высоколегированных монокристаллов германия электронного типа проводимости вытягиванием из расплава, отличающийся тем, что, с целью получения высоколегированных монокристаллов со стабильными во времени электрическими характеристиками, вытянутый монокристалл подвергают термообработке путем нагрева в течение 2-4 час при температуре 870°С с