Электролит золочения Советский патент 1992 года по МПК C25D3/48 

связанном с фотохимическими операциями, и кроме того снижение температуры его осаждения.

Поставленная цель достигается тем, что электролит для нанесения покрытия из золота, содержащий золото в виде дицианоа- урата калия и лимонную кислоту, согласно изобретению дополнительно содержит аммиак, никотиновую кислоту при следующем соотношении компонентов, г/л:

Дицианоаураткалия 18-20

Аммиак водный, 25% 120-130

Лимонная кислота115-120

Никотиновая кислота 0,02-0,04

Осаждение ведут при рН 5,2-5,7 и 45°С, катодная плотность тока Дк 0,2 А/дм2.

Аммиак выполняет роль проводящей добавки, введение в состав электролита никотиновой кислоты при определенном соот- ношении компонентов измельчает структуры осадка, что приводит к увеличению пластичности и уменьшению пористости.

Поскольку в полупроводниковой промышленности работают с микроразмерами и микронной .толщиной покрытий, то плотность тока и температура должны быть стабильны, т.е. иметь разброс параметров не более погрешности используемых приборов, что гарантирует стабильность структуры и толщины покрытия.

Состав электролита и режим осаждения позволяют получить покрытие, структура и электропроводность которого близки к металлургическому золоту,

Электролит готовят путем растворения расчетного количества химикатов в деиони- зованной воде в отдельных сосудах, затем сливают в последовательности: лимонная кислота, аммиак, дицианоаурат и никотиновая кислота. Кислотность раствора (рН) под- держивают добавлением растворов аммиака (1:1) или лимонной кислоты (100 г на 1л раствора). Скорость осаждения 14...15 мкм/ч.

Таким образом были приготовлены пять электролитов с различным составом компонентов,

Результаты их испытаний представлены в табл.1.

Как видно из таблицы, положительные результаты получены в тех партиях (3, 4, 5),

где использовались электролиты,состав которых соответствует заявленному.

Сравнительные данные заявляемого электролита с прототипом по свойствам золотого покрытия представлены в табл. 2.

Сравнение свойств электролитов золочения производилось после проработки 7- 8 А ч/л,

Твердость покрытия определялась на

приборе типа ПМТ-3 при толщине покрытия не менее 10 мкм.

Удельное сопротивление покрытий измерялось в соответствии с ГОСТ 9.302-79 (приложение 9).

Пористость определялась электрохимическим способом, как величина, обратно пропорциональная сопротивлению раствора в порах.

Толщина покрытия измерялась на радиоактивном толщиномере.

Т.о. заявленный электролит стабилен в работе, удобен в технологической эксплуатации, м,б.использован в полупроводниковом производстве, т.к. оказывает

минимальное химическое воздействие на материалы, связанные с фотохимическими операциями и позволяет получить золотое покрытие с улучшенными эксплуатационными характеристиками и следовательно обеспечивает постоянство электрических параметров контактов, высокую электропроводность при снижении рабочей толщины покрытия, кроме того использование упомянутого электролита позволяет снизить температуру процесса осаждения покрытия.

Формула изобретения Электролит золочения преимуществен- но деталей полупроводниковых приборов, включающий дицианоаурат калия и лимонную кислоту, отличающийся тем, что, с целью снижения пористости и удельного сопротивления покрытия, он дополнитель- но содержит аммиак водный 25%-ный и никотиновую кислоту при следующем соотношении компонентов, г/л: Дицианоаураткалия 18-20 Аммиак водный,

25%-ный120-130

Лимонная кислота115-120

Никотиновая кислота 0,02-0,04

Таблица 1

Использование: в технологии изготовления узлов и приборов электронной промыш- ленности. Сущность изобретения: электролит содержит, г/л: дицианоаурат калия 18-20, аммиак водный (25%-ный 120- 130; лимонная кислота 115-120 и никотиновая кислота 0,02-0,04. 2 табл. Аммоний фосфорнокислый двухзамещенный40-80 Таллий азотнокислый 0,005-0,015 Однако структура золотого покрытия не совсем удовлетворяет требованиям дальнейшего технологического процесса. Следовательно, чтобы обеспечить требуемые эксплуатационные характеристики покрытия необходимо увеличить толщину золотого покрытия. Наиболее близким по числу сходных существенных признаков к заявляемому является электролит золочения, включающий, г/л: Дицианоаураткалия8-12 Лимонная кислота50-140 При эксплуатации этого электролита происходит накопление углерода в растворе, который попадает в осадок и снижает эксплуатационные характеристики золота, повышается твердость и увеличивается пористость и, следовательно, время работы этого электролита не более 200-300 А.ч/л. Целью изобретения является разработка электролита золочения для получения покрытий с улучшенной структурой, уменьшением пористости и повышение удельного сопротивления для использования в полупроводниковом производстве. (Л С М VJ СЛ СП О СЛ

Таблица 2