СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ СУЛЬФИДОВ и СЕЛЕНИДОВ ГРУППА" и А"1 Советский патент 1966 года по МПК C30B11/06 C30B29/46 

Известен способ выращивания монокристаллов типа CdS (группа А В - сульфидов и селенидов кадмия, цинка, теллура) из расплава под давлением инертного газа.

Предлагаемый способ выращивания полупроводниковых монокристаллов типа CdS отличается от известного тем, что для получения монокристаллов стехиометрического состава в реакционный объем вводят химическое соединение металлоида с углеродом.

Пример 1. Выращивание монокристаллов сульфидов кадмия и цинка.

Предварительно подготовленный стехиометрический порошок сульфида кадмия загружают в графитовый контейнер, помещаемый внутрь трубчатого графитового нагревателя, расположенного в автоклаве. После герметизации внутреннего объема его вакууЛ1ируют с подогревом для удаления из автоклава влаги и газообразных примесей. В вакуумированный объем автоклава вводят заданное количество сероуглерода, после чего в автоклав из баллона подается аргон до давления 30-40 ат. Последующие операции включают плавление порошка сульфида кадмия, некоторый перегрев расплава и затем программное температуры расплава таким образом, чтобьГв коническом дне контейнера возникла монокристаллическая затравка, которая разращивается последовательно снизу вверх по объему контейнера. Наличие в газовой фазе сероуглерода допускает необходимый перегрев расплава с соответствующим градиентом температуры вдоль оси контейнера без термического разложения перегретого исходного вещества, что обеспечивает получение монокристаллов с заданными свойствами.

Аналогично получают монокристаллы сульфида цинка.

Пример 2. Выращивание монокристаллов селенидов кадмия и цинка.

Отличие от примера 1 состоит в том, что в вакуумированпый объем вводят заданное количество селеноуглерода либо впрыскиванием готового продукта, либо продувкой паров селена через нагретую кварцевую трубку, содержащую пористую углеродную массу (древесный уголь и т. п.).

Предмет изобретения

Способ выращивания полупроводниковых монокристаллов сульфидов и селенидов групп А и А , например CdS, из расплава под давлением инертного газа, отличающийся тем, что, с целью получения монокристаллов стехиометрического состава и упрощения процесса, в реакционный объем вводят химическое соединение одноименного металлоида с углеродом, например CSa.