Устройство для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую подложку Советский патент 1993 года по МПК G03G5/82 

Ё

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий в вакууме, в частности к конструированию оборудования, используемого для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую поверхность. Устройство для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую подложку, содержащее цилиндрическую вакуумную камеру, коакси- ально изготовлено так, что соотношение диаметров испарителя и подложки составляет 4-5.

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий в вакууме, в частности к конструированию оборудования, используемого для нанесения промежуточного носителя изображения на основе селена на цилиндрическую токопроводящую подложку.

Цель изобретения - повышение качества промежуточного носителя изображения за счет стабилизации фотоэлектрических параметров.

Сущность изобретения заключается в том, что управляющими факторами при формировании структуры селеновых слоев является температура подложки и удельный тепловой поток, проходящий через напыляемый слой и подложку, создающий в слое определенный градиент температуры. Концентрированный тепловой поток, проходящий через селеновый слой от свободной поверхности к подложке, увеличивает температуру слоя до предельных температур

фазовых превращений в аморфном селене, которые создают высокочувствительную надмолекулярную структуру, прозрачную для прохождения носителей заряда.

Данная структура имеет наибольшую механическую прочность и наименьшее количество микровключений кристаллического селена в объеме напиленного слоя и наименьший остаточный потенциал.

Градиентом температуры в слое можно управлять изменением температуры испарителя. Но при напылении промежуточных носителей изображения на основе селена методом сублимации верхний предел температуры селена ограничен, при 217°С селен плавится. Кроме того, при изменении температуры испарителя, меняется скорость испарения и конденсации полупроводникового вещества, т.е. изменяются условия формирования структуры электрофотографического слоя. Поэтому для создания высокочувствительных промежуточных

00

00 Оч

N4

носителей информации следует изменить расстояние между подложкой и испарителем, изменяя и их диаметры. Оптимальное соотношение диметров испарителя и под-,, ложки должно соответствовать условию

4 5. При - 4 фоточувстви- ОподлL/подл

тельность промежуточного носителя изображения уменьшается, т.е. градиент температуры в слое низкий и удельный тепловой поток, проходящий через слой не может формировать высокочувствительную надмолекулярную структуру аморфного селена.

При соотношении р. исп 5 градиент

Оподл

температуры в слое высокий, на свободной поверхности промежуточного носителя изображения на основе селена появляются микротрещины и он имеет вид типа шагреневой кожи.

Из вышеизложенного следует, что с увеличением расстояния между испарителем и подложкой увеличивается плотность тепловой энергии, приходящаяся на единицу площади цилиндрической подложки, вследствие чего создается более благоприятное условие для формирования высокочувствительной структуры аморфного селена.

Пример. Определены плотность энергии на поверхности цилиндра с диаметром 250 мм и 180 мм, напыляемые в одном и том же устройстве для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую поверхность.

Оисп 480 мм

/ - Q 5исп а п Оисп h

5подл Я Оподл h

где р- плотность энергии;

q - удельный тепловой поток;

Оподл - диаметр подложки;

Оисп - диаметр испарителя.

Формулу (1) можно привести к следую- щему виду:

q СЬсп

Оподл

величина удельного теплового потока является постоянной величиной. Пусть q 1, тогда для цилиндров с диаметром 250 мм

(D

Редактор С. Кулакова

Составитель Техред М.Мор

/э 25Ј 1,92, т.е.

Р. ис 4 низкая фоиподл

10

15

.р.

20

25

30

35

точувстител ьность.

Для ЦЭК с диаметром 110 мм Оисп 480

4,3 фоточувствительОподл 110

ность выше, чем у ЦЭК с диаметром 250. Для ЦЭК с диаметром 180 мм

р 480- 2,66фоточувствитель- Оподл 1оО

ность больше, чем у ЦЭК с диаметром 250 мм, но меньше, чем у ЦЭК с диаметром 110 мм.

Из приведенных примеров видно, что с изменением расстояния между испарителем и подложкой изменяется величина удельного теплового потока, что влияет на формирование высокочувствительной структуры аморфного селена.

Чтобы увеличить фоточувствительность ЦЭ К с диаметром подложки 250 мм согласно формуле (1) было изготовлено устройство с диаметром испарителя Оисп 1125 мм, а для ЦЭК с диаметром подложки 180 мм было изготовлено устройство с диаметром испарителя Оисп 900 мм.

Из изложенного следует, что для увеличения фоточувствительности ЦЭК при оптимальных температурах испарителя необходимо создать для каждого типа размера ЦЭК свою типовую вакуумную камеру с сохранением отношения диаметров испарителя и подложки 4-5.

Формула изобретения

Устройство для нанесения промежуточного носителя изображения на цилиндрическую подложку, содержащее цилиндрическую вакуумную камеру и коак- сиально расположенные в ней кольцевой испаритель и цилиндрическу(Й подложку, отличающееся тем, что, с целью повышения качества промежуточного носителя изображения путем стабилизации фотоэлектрических параметров, испаритель и подложка выполнены при следующем соотношении их диаметров:

Оисп

Or

4,0-5.0,

50

. Котов нтал

Оисп -диаметр испарителя; Оп диаметр подложки.

Корректор Т. Вашкович