Вакуумная камера для селенирования электрофотографического барабана Советский патент 1982 года по МПК G03G5/82 

Изобретение относится к нанесению полупроводниковых электрофотографических слоев и вакуумной техни Известны вакуумные камеры для на несения электрофотографических слоев Способами из расплава и сублимации. Камеры вакуумные, работающие п способу сублимации более просты и технологичны, чем камеры работающие на расплавах. Известная универсальная шахтная установка для селенирования барабанов электрофотографических машин им ет напылитель, представляющий собой трубу, , для обеспечения сцепления напыляемого вещества с напылителем, слоем олова l. Установка комплектуется автономным лодочным испарителем, с пси 1см1{ью которого, по мере расходования напы емого вещества при напылении электрофотографических б рабанов, напыг ляемое вещество напыляется на напылитель. Количество напыляемого вещества, содержащегося при этом на напылитеде, не значительно, так как большая толщина его вызывает преждевременно разрушение слоя напыляемого вещества, что снижает ресурс напылителя (8-10 напылений), наличие олова приводит к загрязнению части напыляемого вещества оловом - вызывает повышенный расход, а неравномерное, вследствие отклонения линейных размеров взаимного расположения внутрикамерных устройств, испарение напыляемого вещества с поверхности напылителя-трубы и затем повторные подзарядки с помощью лодочного испарителя ПРИВОДЯТ к неравномерности слоя напыленного вещества на электрофотографическом барабане. Цель изобретения - устранение указанных недостатков и повышение производительности камеры. Указанная цель достигается тем, что в камере, вместо напылнтеля, представляющего собой трубу, устанавливается напылитель, набранньй из кольцевых элементов с и-образным сечением установленных один на другом; кольцевой зазор между элементами обеспечивается с внутренней стороны напылителя за счет уменьшения высоты внутренней стенки каждого кольцевого элемента, при этом наружные стенки кольцевых элементов являются опорами для последующего размещения кольцевых элементов.

и-образное сечение кольцевых элвментов обеспечивает размещение в нем большего количества напыляемого вещества без применения олова-, что существенно повышает работоспособность напылителя и увеличивает время между подзарядками, устранение олова позволяет снизить расход напыляемого вещества и повысить качество выпускаемых изделий. Увеличение количества напылений с одной подзарядки (80-150 напылений) значительно повышает производительность камеры, сокращает технологические потери напыляемого вещества./

На чертеже изображена вакуумная камера для селенирования электрофотографических барабанов, общий вид.

Вакуумная камера состоит из основания 1, обечайки 2, крышки 3, нагревателей 4, напылителя 5, узла 6 крепления электрофотографического барабана. Кольцевой элемент 7 напылителя имеет и-образную форму; внешняя стенка кольца - опора для размещения на ней следующего кольцевого элемента, а внутренняя стенка элемента ниже наружной и образует щелевое кольцевое отверстие, позволяющее осуществить направленное испарение напыляемого вещества. U-образное сечение кольцевых элементов облегчает извлечение из них возможного остатка напыляемого вещества.

Вакуумная камера работает следующим образом.

Производят загрузку напыляемого вещества в U-образные кольцевые элементы 7 напылителя 5 последовательно, начиная снизу после связанного с загрузкой монтажа, при низкой вакууме, нагревателем 4 разогревают напылитель 5 и находящееся в нем напыляемое вещество до заданной температуры; в камеру вводят подложку электрофотографического барабана, смонтированную б кpeплeниJ ; получают (с помощью откачной вакуумной системы)высокий вакуум и напыляемое вещество,испаряясь,под действием тёмпёЁзатуры и низкого давления (вакуутла), движется через кольцевые щелевые отверстия напылителя на подложку электрофотографического барабана.

Применение предлагаемой вакуумной камеры повышает производительность труда в 2,5 раза, при одновременной экономии напыляемого вещества на сумму 100 тыс.р. при объеме выпуска 10000 электрофотографических барабанов в год.

Формула изобретения

Вакуумная камера для селенирования электрофотографического барабана, содержащая размещенные в цилиндрическом корпусе нагреватели, узел крепления электрофотографического барабана расположенный соосно корпусу и концентрично установленный к нему напылитель, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью увеличе-0 ния производительности и сокращения расхода напыляемого вещества, напылитель состоит из кольцевых элементов с и-образным сечением, установленных один на другом, при этом

5 для образования кольцевого зазора

между отдельными элементами, внутренняя стенка каждого кольцевого элемента ниже.наружной стенки.

Источники информации,

0 принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 301677, кл. G 03 G 5/082, 1967.