Способ контроля герметичности изделий Советский патент 1993 года по МПК G01M3/26 

сл

С

Использование: изобретение относится к технике вакуумных испытаний и может быть использовано для высокочувствительного контроля герметичности изделий с повышенным газоотделением. Сущность: откачивают обьем накопления 1 и перепускную емкость 3. Откачивают до высокого (среднего) вакуума вакуумметрический преобразователь 5. изолируют объем накопления 1 емкость 3 от средств откачки. Закрывают клапаны 11 и 12. открывают клапан 6 и измеряют время достижения заданного значения давления Р3ад в вакуумметрическом преобразователе 5. Закрывают клапан 6. открывают 11. 12, 2. По окончании времени накопления закрывают клапан 2 и повторяют процесс измерения времени достижения Р3ад. О негерметичности судят по изменению этого времени. 2 э.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний, а именно к испытаниям на герметичность и может быть использовано для высокочувствительного контроля герметичности изделий с повышенным газоотделением.

Целью изобретения является повышение чувствительности контроля герметичности изделий с повышенным газоотделением.

На чертеже представлена схема устройства для реализации способа контроля герметичности.

Устройство содержит обьем накопления утечки 1, изолирующий клапан 2, перепускную емкость 3, из которой накопленный газ частично перепускается в полость 4 вакуум- метрического преобразователя 5 через соединительный клапан 6 и дросселирующий элемент 7. Для измерения давления используют масс-спектрометр или вакуумметр. В

полости 4 установлена азотная ловушка 9. Клапаны 10 и 11 предназначены для подсоединения средств откачки, клапан 12 - для байпасной откачки пространства между дросселирующим элементом 7 и клапаном 6.

Способ контроля герметичности осуществляют следующим образом.

При открытых клапанах 2 и 10 откачивают обьем накопления 1 и перепускную емкость 3 до такого давления, при котором газовыделение незначительно и не искажает результатов контроля герметичности. Ва- куумметрической преобразователь 5 откачивают до высокого (среднего) вакуума приоткрытых клапанах 11 и 12. Закрывают клапан 10, изолируя объем накопления 1 и перепускную емкость 3 от средств откачки, и клапан 2, с момента закрытия которого начинается процесс накопления контрольного газа. Закрывают клапаны 11 и 12, открывают клапан 6 и измеряют время, за

со ю ч сл сл о

которое давление в полости вакуумметриче- ского преобразователя 5 достигнет заданного значения давления Рзад, после чего клапан б закрывают и открывают клапаны 11, 12 и 2. По окончании времени накоплв ния закрывают клапан 2 и повторяют процесс измерения времени достижения в полости преобразователя заданного давления Рзэд. Значения давления Р3ад выбирают в зависимости от-соотношения объемов полостей 3 и 4 и требуемой погрешности измерения величины негерметичности изделия.

Поток газа через дросселирующий элемент при перепуске

Q ДР-U,

где Q - поток газа через дросселирующий элемент, Вт;

ДР - перепад давления на дросселирующем элементе. Па;

U - проводимость дросселирующего элемента, м3/с.

Учитывая, что в полость вакуум метрического преобразователя перепускается из емкости 3 лишь небольшая часть имеющегося там газа, можно принять поток газа через дроссель 7 независящим от времени и равным - до начала накопления и Д Р) U - через время т , где

ДР

Онег Т

- ттртэст давления контрольного

газа за время т t . в объеме накопления, Па; Онег. - величина негерметичности изделия. Вт; V - суммарный объем перепускной емкости и объема накопления, м3.

В полость вакуумметричес кого преобразователя в обоих случаях перепускается одинаковое количество газа, следовательно Qi t2. где tt - время, за которое давление в полости преобразователя возрастает до Рзад до накопления, a t2 - после накопления.

Таким образом, негерметичность изделия определяется соотношением

ЈоЛ/Д1 п Ро /

4t2

1)

At

ta

где .

Онег-

В случае вязкостного режима течения через дроссель соотношение имеет вид Po-V At 2Т 1Г Формула изобретения

5 средств откачки и сообщают с емкостью для накопления утечки, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности контроля изделий с повышенным газоотделением, во время откачки объем накопления

0 и вакуумметрический преобразователь изолируют друг от друга, откачку накопления осуществляют до давления, большего, чем в вакуумметрическом преобразователе, и достаточно для исключения влияния газоотде5 ления, в начале времени накопления сообщают емкость для накопленной утечки с вакуумметрическим преобразователем и регистрируют время достижения в последнем заданного давления, меньшего, чем

0 давление в объеме накопления, а в конце времени накопления при сообщении емкости для накопленной утечки с вакуумметрическим преобразователем также регистрируют время достижения заданного

5 давления, по изменению этого времени судят о негерметичности изделия.

0 3. Способ по п. 1,отличающийся тем, что в качестве емкости для накопленной утечки используют перепускную емкость, которую на время откачки сообщают с объемом накопления и откачивают до рав5 ного с ним давления, перед каждым сообще- ниемсвакуумметрическим

преобразователем изолируют перепускную емкость ст объема накопления, а на время накопления их сообщают друг с другом.

-й- -ей

«4

/

X