СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ p — я-ПЕРЕХОДОВ Советский патент 1966 года по МПК H01L21/04 

Известен способ получения р- п-переходов на кремний, заключающийся в том, что проводят термодиффузию бора в окисляющей атмосфере (например, на воздухе) из боросиликатыого стекла состава m ВзОз « SiOg. Этот способ не дает возможности получить высокую поверхностную концентрацию бора в кремнии (концентрация В () IQi см-л) и не создает равномерной концентрации бора по площади, при этом глубина диффузии бора невелика.. , Предложенный способ отличается от известного тем, что термодиффузия проводится из борокальциевосиликатного стекла состава / B2O3-nSiO2-feCaO, в котором СаО, обладая большей упругостью пара, чем ВоОз, создает предпосылки для поддержания достаточно высокого относительного содержания ВаОз в стекле в процессе термодиффузий. Способ позволяет получить высокую поверхностную концентрацию бора, равномерную по площади (концентрация бора 102осж з) при большой глубине диффузии бора. Предложенный способ заключается в том, что на шлифованную поверхность пластины наносится спиртовой раствор борной кислоты G добавкой небольшого количества Са.(МОз)2 или любого другого растворимого в спирте и разлагающегося при нагреве до СаО соединения кальция. Спиртовой раствор равномерно растекается на поверхности пластины, обеспечивая при высыхании однородное распределение НзБОз и Са(ЫОз)2. При термообработке в окисляющей атмосфере на поверхности пластины образуется стекло состава / ВаОз яЗЮ -йСаО, содержащее значительное количество ВаОз. Поскольку скорость испарения окиси кальция довольно высокая, то при длительной термообработке большая часть ее испаряется, и толщина слоя стекла на поверхности пластины уменьшается. Это ведет к увеличению процентного содержания ВаОз в стекле и в значительной степени компенсирует испарение В2Оз. Паличие на поверхности кремниевой пластины в течение длительного времени источника с высоким содержанием ВзОз обеспечивает получение высокой поверхностной концентрации (1 .wsj. Предмет изобретения Способ получения р - «-переходов на кремнии термодиффузией бора в окисляющей атмосфере, отличающийся тем, что, с целью получения высокой поверхностной концентрации бора в кремнии при большой глубине диффузии, ее проводят из борокальциевосиликатного стекла состава /BaOj-nSiOa- CaOi