Известны различные способы изготовления комплекта фотошаблонов для последующего использования их, например, в производстве полупроводниковых приборов. Существует способ получения фотошаблонов путем вычерчивания всего комплекта фигур и последующего масштабного фотографирования.
Известные способы не обеспечивают точности совпадения координат положения совмещаемых фигур разных шаблонов и дают разброс размеров фигур в пределах одного шаблона, а также достаточно сложны и трудоемки.
Предложенный способ изготовления комплекта операционных шаблонов и установочной сетки для них отличается от известных способов тем, что комплект шаблонов получают конированием только одной, снециальиой для каждого шаблона и установочной сетки образцовой фигуры при одновременном общем перемещении всех заготовок шаблонов и сетки относнтельно всех образцовых фигур. При этом установочную сетку изготавливают в виде дополнительного шаблона в выставляемом по ней комплекте шаблонов одновременно с изготовлением комплекта.
Предложепный способ позволяет повысить точность изготовления комплекта шаблонов и последующего их совмещения.
Один образец фигуры каждого онерацион1ЮГО шаблона выполняют любым известным способом в необходимом масштабе, затем ренродуцируют образцы фигур на фотонластпнку или фотопленку и получают комплект образцовых негатпвов.
Для получения множества фигур или множества групп фигур на каждом из операциоиных шаблонов производят последовательное многократное копирование, например контактное, фигур образцовых негативов в необходимых местах заготовок шаблонов на фотоштампе. Образцовые негативы выставляют в негативной рамке фотоштампа таким образом, чтобы оси симметрии фигур располагались иа одной линии или на параллельных линиях. Расстояние между фигурами должны соответствовать размерам заготовок будущих операционных шаблонов. Выставление образцовых негативов производят, нанример, на нзмерительных микроскопах.
Образцовые фигуры копируют иа светочувствительную поверхность заготовок шаблонов при соответствующем экспонировании. Коннроваине производят одповременно на всех заготовках столько раз, сколько фигур нли групп фигур должно быть получено на каждом шаблоне. При этом фигурами или группами фигур заполняют последовательно все вертикальные или все горизонтальные «строчКи на заготовке шаблона, при последовательном плоскопараллельном неремещепии всего прнспособлепия для крепления заготовок шаблонов относительно неподвижных образцовых негативов (или наоборот) на требуемый шаг, равный расстоянию между соседними фигурами илн группами фигур операционного шаблона.
Полученные скрытые изображения фигур на заготовках шаблонов подвергают химической обработке известными способами обработки негативных изображений.
Использовапие комплекта шаблонов для последовательного налол ения на заготовку изделия требует аредварительного выставления всех шаблонов комплекта относительно определенного зафиксированного положения заготовки в приспособлении, в котором производят наложение. Выставление шаблонов осуществляют по обшей установочной сетке, которая представляет собой прозрачную плоскопараллельную стеклянную пластину с нанесенными рисками, по которым выставляют фигуры шаблонов.
Установочную сетку изготавливают одновремеипо с комплектом шаблонов, который но ней будет выставляться, тем же фотографическим способом на фотоштампе, что и 5 комплект шаблонов.
Предмет изобретения
Способ изготовления комплекта онерациоииых шаблонов и установочной сетки для них,
0 основанный на фотографическом копировании многократно иовторяюшихся через определенные интервалы образцовых фигур, отличаю щийся тем, что, с целью повышения точности изготовления шаблонов и точности их последуюшего совмещения, комплект шаблонов получают копированием только одной, специальиой для каждого шаблона и установочной сетки образцовой фигуры при одновременном общем неремещении всех заготовок щаблонов и сетки относительно всех образцовых фигур, при этом установочную сетку изготавливают в виде дополнительного щаблона в выставляемом НО ней комплекте щаблонов одновременно с изготовлением этого комплекта.
