СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НЕГЕРМЕТИЧНОСТИ Советский патент 1966 года по МПК G01M3/02 

Настоящее изобретение относится к способам определения нёгерметичности приборов со стеклянной оболочкой или металлических приборов со стеклянным штенгелем при возбуждении высокочастотного разряда искровым течеискателем.

Известный способ определения негерметичности приборов по изменению характера свечения остаточного газа создает большие трудности при определении иегерметичности приборов с тонкими входными окнами, например газоразрядных счетчиков, так как большой нерепад давлений атмосфера - внутренний объем прибора может разрушить входное окно.

Предложенный способ отличается тем, что прибор предварительно наполняют инертным газом, например неоном. Это повышает чувствительность и уменьшает перепад давления атмосфера - внутренний объем прибора.

Способ пригоден как в .сочетании с предварительной откачкой приборов, так и для контроля герметичности на любой стадии откачки. Суть способа- сводится к тому, что свечение чистого неоНа (или другого инертного газа), возбуждаемое в приборе с помош,ью искрового течеискателя, резко изменяется в присутствии самых незначительных примесей воздуха.

В комбинации с предварительной откачкой способ осуществляется следующим образом. Приборы откачивают под колпаком до давления не выше 5 10 торр, наполняют неоном до такого давления, чтобы перепад атмосфера-внутренний объем счетчика не разрушал окно, затем спаивают с поста и подвергают выдерл ке. Паличие течи в приборе приводит к изменению цвета свечения неона, возбуждаемого искровым течеискателем. После выдержки в течение суток или более легко отбраковываются приборы с самой незначительной течью. Таким же способом можно проверять не только торцовые, но и обычные электровакуумные приборы, при этом могут быть отбракованы изделия, течь которых не обнаруживается течеискателем ПТИ-6А.

При более значительных натеканиях заметное изменение свечения газа обнаруживается уже через несколько минут после отпайки приборов.

Высокая чувствительность предложенного способа поиска негерметичности позволяет использовать его в качестве экспрессметода обнаружения течи в ходе технологической откачки электровакуумных приборов любой конструкции, если они имеют стеклянный откачной штенгель. Этот метод особенно ценен в тех случаях, когда течь в предварительно

герметизируемых приборах появляется в процессе откачки, например, при Прогреве изделий. При подозрении ка течь в одном из приборов откачиваемой гребенки откачку прерывают и в систему подают чистый неон под давлением 50-100 торр для обычных приборов или под достаточно высоким давлением, чтобы можно было снять вакуумный колпак, в случае откачки торцовых приборов. Натекающий прибор обнаруживают по изменению цвета свечения неона в его откачном штентеле. Опыт показывает, что при небольшой практике таким способом может быть определено натекание воздуха до 5- Ю л. мк/сек L течение нескольких минут.

П р е д ме т изобретения

Способ определения негерметичности приборов со стеклянным штенгелем по изменению характера свечения газа при возбуждении высокочастотного разряда искровым течеискателем, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и уменьшения перепада давления атмосфера - внутренний объем прибора, прибор предварительно наполняют инертным газом, например неоном.