УСТРОЙСТВО для ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХПРИБОРОВ Советский патент 1966 года по МПК H01L21/00 

Известны устройства для изготовления нблунроводниковых приборов, содержащие копировальное приспособление, технологический спутник и установочный эталон.

Описываемое устройство отличается тем, что для повышения точности совмещения негатива с обрабатываемой полупроводниковой пластиной копировальное приспособление снабжено двумя перемещающимися перпендикулярно к плоскости негатива фиксаторами, сопрягающимися с посадочными местами технологического спутника или установочного эталона, на котором находится растровая пластина с сеткой, узлы которой совпадают с установочными знаками па пегативах.

На фиг. 1 изображен технологический спутник с. закрепленной на нем заготовкой; на фиг. 2 представлено копировальное приспособление; на фиг. 3 показан эталон с растровой пластиной.

Заготовку / в виде тонкой, чисто обработанной полупроводииковой пластины, с двух сторон которой на общей оси расположены призматические пазы 2, ставят на технологический спутник 3 и жестко закрепляют с помощью винтов 4 фиксаторами 5, входящими в пазы. В верхией части корпуса 5 копировального приспособлени5 закреплен виитами 7 негатив 8. В рабочем положении заготовка J прижата к негативу пружинами 9, передающими давление на заготовку через кольцо 10, щарики 11, гнездо 12 и спутник 5.

Точность совмещения заготовки с негативом обеспечивают сферическая головка фиксатора 13, входящая в конусное гнездо 14 технологического сиутника 3, и сферическая головка фиксатора 15, входящая в призматический паз 16 сиутника. Обе головки имеют одинаковый диаметр. Они прил имаются к гнезду

14 и пазу 16 прул :инами 17. Направляющие

стержни фиксаторов перемещаются на щариках /5 перпепдикулярно к плоскости иегатива 5.

Точную установку негативов в копировальпых приспособлениях осуществляют с помощью установочного эталона 19, соответствующего по конструкции технологическому спутнику 3. На эталоне укреплена растровая пластинка 20 со щтриховой сеткой 21, узлы

которой совпадают с установочными знаками на негативах.

Установочный эталон 19 поочередно ставят на все копировальные ириспособления, что

обеспечивает точную установку «егативов 8 относительно фиксаторов 13 и 15 копировальных приспособлений. Установку негативов по отиощению к сетке 21 корректируют виитами 7 и контролируют визуально с номощью миПредмет изобретения

Устройство для изготовления полупроводниковых приборов, содержащее копировальное приспособление, технологический спутник и установочный эталон, отличающееся тем, что, с целью повышения точности совмещения негатива с обрабатываемой полупроводниковой пластиной, копировальное приспособление

снабжено двумя перемещающимися перпендикулярно к плоскости негатива фиксаторами, сопрягающимися с посадочными местами технологического спутника или установочного эталона, на котором установлена растровая пластина с нанесенной на ней сеткой, узлы которой совпадают с установочными знаками, нанесенными на негативах.

A-/i

f8