УСТРОЙСТВО для ПОЛИРОВАНИЯ плоских ПОВЕРХНОСТЕЙ Советский патент 1966 года по МПК B24B37/04 

Известиы устройства для полирования плоских поверхностей, содержащие полировальные диски, вращающийся стол с вакуумными присосами и механизмы подачи и съема. В них стол вращается до тех нор, пока с обрабатываемых деталей не снимется определенный припуск, затем он останавливается и детали разгружаются.

Предлагаемое устройство отличается тем, что полировальные диски установлены вдоль направления движения заготовок, удерживаемых вакуумными присосами. Это устройство позволяет полировать заготовки в различных направлениях в процессе транснортирования без остановки стола. Кроме того, вакуумные нрисосы имеют полость, соединенную с двумя каналами, один из которых постоянно, а другой периодически связаны с вакуум-насосом, и подпружиненный в осевом нанравлеыии клапан, перекрывающий канал, постоянно связанный с вакуум-насосом при отсутствии заготовки и открывающий его в момент соединения другого канала с вакуум-насосом при наличии заготовки в позиции загрузки.

Описываемое устройство изображено на фиг. 1; вакуумный присос - на фиг. 2.

Основными узлами устройства являются роторы 1 vi 2, шпиндели 3 полировальных дисков 4j вращающийся стол 5, питатель 6, механизм 7 подачи и механизм 8 съема отполированных заготовок.

Устройство работает следующим образом. Заготовки загружают в питатель, установленный над столом так, что между его поверхностью и питателем имеется зазор, равный двум толщинам заготовок и прикрытый резиновым клапаном, предназначенным для предотвращения произвольного выхода заготовок. Пощтучная выдача заготовок осуществляется вакуумными присосами, расположенными с

заданным щагом по окружности стола.

Вакуумные присосы имеют нолость 9, соединенную с двумя каналами 10 и 11 (один из них постоянно, а другой периодически связапы с вакуум-насосом), и подпружиненный в

осевом направлении клапан 12, перекрывающий за счет усилия пружины 13 канал 10.

При нрохождении вакуумного нрисоса под питателем канал 11 на мгновение соединяется с вакуум-насосом. Если заготовка находится

в полости 9, создается разрежение и клапан 12 перемещается вверх. Заготовка присасывается и извлекается из питателя. При отсутствии заготовки в питателе клапан остается в нижнем положении и выходное отверстие канала 10 закрыто; то же наблюдается, когда заготовка расколота.

Заготовки, закрепленные на вакуумных присосах, при повороте стола ротора 1 попадают под быстро вращающиеся диски 4, на поверхменяется, так как они проходят под центрами полировальных дисков.

После прохождения заготовкн под всеми полировальными дисками механизм подачи захватывает освобожденную вакуумным присосом заготовку и переносит ее на соответствующий вакуумный присос. Дальнейший цикл аналогичен онисанному. По окончании полирования заготовки захватываются вакуумными головками механизма съема и сбрасываются в тару.

Описанное устройство обеспечивает качественное полирование деталей за период прохождения их под полировальными кругами.

Предмет изобретения

1. Устройство для полирования плоских поверхностей, например заготовок полупроводПИКОВЫХ материалов, содержащее полировальные диски, вращающийся стол с вакуумными присосами и механизмы подачи и съема, отличающееся тем, что, с целью полирования заготовок в различных направлениях в процессе транспортирования, полировальные диски установлены вдоль нанравления движения заготовок, удерживаемых вакуумными присосами. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что вакуумные присосы имеют полость, соединенную с двумя каналами, один из которых постоянно, а другой периодически связаны с вакуум-насосом, и подпружиненный в осевом направлении клапан, перекрывающий канал, постоянно связанный с вакуум-насосом при отсутствии заготовки н открывающий его в момент соединения другого канала с вакуумнасосом при наличии заготовки в позиции загрузки

1д f2 /////////)(/////////. / /77/////7///Л ю // / //////Y 77Y//////Z. Фие.2